研究方向：薄膜材料的物性與結(jié)構(gòu)、等離子體加工技術(shù)。在功能薄膜材料的物性、超高真空技術(shù)、質(zhì)譜分析等方面獲國(guó)家重大科技成果獎(jiǎng)、省科技進(jìn)步獎(jiǎng)、市科技進(jìn)步獎(jiǎng)，在國(guó)內(nèi)外核心期刊發(fā)表論文40多篇，相當(dāng)部分被SCI和EI所收錄。目前研究課題：功能薄膜材料的制備、結(jié)構(gòu)和物性；等離子體與材料之間的相互作用。

　　書(shū)名：在低基片溫度下制備的ITO透明導(dǎo)電膜的性能

　　摘要：發(fā)展了使用直流輝光放電等離子體輔助反應(yīng)蒸發(fā)法在低溫玻璃基片上制備ＩＴＯ膜的工藝，研究了主要的工藝參數(shù)，如Ｓｎ／Ｉｎ配比，氧分壓，基片溫度等對(duì)于膜的透光率和電阻的效應(yīng)。

　　關(guān)鍵詞:反應(yīng)蒸發(fā)沉積ITO膜氧化銦錫薄膜學(xué)科

　　分類:O61[數(shù)理科學(xué)和化學(xué)>化學(xué)>無(wú)機(jī)化學(xué)]

       蘇州大學(xué)（Soochow University）坐落于古城蘇州，是國(guó)家“211工程”重點(diǎn)建設(shè)高校和江蘇省省屬重點(diǎn)綜合性大學(xué)。其前身為創(chuàng)建于1900年的東吳大學(xué)。蘇大利用地處蘇州以及蘇南這一獨(dú)特的地理環(huán)境優(yōu)勢(shì)，努力抓住發(fā)展機(jī)遇，成為目前中國(guó)發(fā)展勢(shì)頭最好的重點(diǎn)高校之一，多項(xiàng)指標(biāo)位列全國(guó)高校前列。蘇州大學(xué)現(xiàn)已發(fā)展成為一所擁有哲學(xué)、經(jīng)濟(jì)學(xué)、法學(xué)、教育學(xué)、文學(xué)、歷史學(xué)、理學(xué)、工學(xué)、農(nóng)學(xué)、醫(yī)學(xué)、管理學(xué)等十一大學(xué)科門(mén)類，具有相當(dāng)規(guī)模，基礎(chǔ)較為雄厚，辦學(xué)效益顯著，在國(guó)內(nèi)外具有一定知名度的地方綜合性大學(xué)。