人物經(jīng)歷
1964年4月，劉明出生于江西豐城市，籍貫安徽宿州。
1985年，劉明從合肥工業(yè)大學(xué)本科畢業(yè)，獲得學(xué)士學(xué)位。
1988年，劉明從合肥工業(yè)大學(xué)碩士研究生畢業(yè)，獲得碩士學(xué)位。
1998年，劉明從北京航空航天大學(xué)博士研究生畢業(yè)，獲得博士學(xué)位。
2000年，劉明被聘為中國科學(xué)院微電子研究所研究員和納米加工與新器件集成技術(shù)研究室主任。
2008年，劉明獲得國家杰出青年科學(xué)基金資助。
2015年7月31日，劉明入選中國科學(xué)院院士增選初步候選人名單，12月7日當(dāng)選中國科學(xué)院院士。
2018年1月25日，劉明出任中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家示范性微電子學(xué)院院長，同年當(dāng)選發(fā)展中國家科學(xué)院院士。
2021年2月4日，任中芯國際第三類獨(dú)立非執(zhí)行董事及戰(zhàn)略委員會成員。
主要成就
科研成就
科研綜述劉明闡明了阻變存儲器機(jī)理，建立了相應(yīng)的物理模型；提出了功能層摻雜和局域電場增強(qiáng)的阻變存儲器性能調(diào)控方法，提高存儲器整體性能；拓展了新型閃存材料和結(jié)構(gòu)體系，提出新的可靠性表征技術(shù)、失效模型和物理機(jī)理；發(fā)展了集成電路的微納加工技術(shù)并拓展到禁運(yùn)的短波衍射元件研制中。
劉明在國際上首次采用軟X射線曝光技術(shù)實(shí)現(xiàn)了256位分子存儲器；在32nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)以下的非揮發(fā)性存儲器替代方案上，提出了利用金屬摻雜的技術(shù)手段來提高阻變存儲器（RRAM）性能和成品率的方法，成為國際上最早提出此概念的兩個小組之一，在漸進(jìn)型的非揮發(fā)性存儲器替代方案上，著眼于納米晶浮柵存儲結(jié)構(gòu)（Nano-Floating Gate）。
學(xué)術(shù)論著截至2017年7月，劉明發(fā)表SCI收錄論文250多篇，SCI他引超過2800次，6篇論文入選ESI高被引論文榜，兩項工作列入2013年ITRS（國際半導(dǎo)體發(fā)展路線圖）、多項工作作為典型進(jìn)展被寫入15本著作和40篇綜述中。授權(quán)發(fā)明專利180件（含美國授權(quán)專利7件），主要專利轉(zhuǎn)讓/許可到多家重要集成電路企業(yè)。
| 出版日期 | 名稱 | 作者 | 出版社 |
|---|---|---|---|
| 2013.12 | 《納米半導(dǎo)體器件與技術(shù)》 | （加）KRZYSZTOF INIEWSKI編；劉明，呂杭炳譯 | 北京：國防工業(yè)出版社 |
| 2014.08 | 《新型阻變存儲技術(shù)》 | 劉明著 | 北京：科學(xué)出版社 |
截至2017年7月，劉明在本領(lǐng)域重要國際會議做邀請報告30多次。
| 時間 | 報告題目 |
|---|---|
| 2017-11-14 | Advanced Semiconductors - Opportunities for Mainland and Hong Kong Collaboration |
| 2017-09-22 | Resistive Random Access Memory and 3D Integration |
| 2017-08-20 | High Performance Selector and 3D Integration |
| 2017-04-03 | Reliability issues on oxide-electrolyte-based RRAM |
| 2016-10-10 | High performance selector and 3D integration (Invited) |
| 2016-06-07 | 3D Vertical Integration of Resistive Switching Memory (Invited) |
| 2016-04-06 | Characteristics and Mechanism of Multimode Resistive Switching Behaviors in the Oxide-electrolyte-based RRAM (Invited) |
| 2016-03-29 | Improvement of RRAM performances by inserting graphene layer |
| 2015-10-12 | Reliability Issues of Oxide Electrolyte Based CBRAM |
| 2015-10-11 | Impact of filament evolution on reliability issues of oxide electrolyte based conductive bridge random access memory |
| 2015-09-03 | Characteristics and mechanism of multimode resistive switching behaviors in the oxide-electrolyte-based RRAM |
| 2015-06-28 | Reliability Issues of Oxide-Electrolyte-Based Conductive Bridge Random Access Memory |
| 2015-06-01 | A Probe of Reliability Issues of Oxide Electrolyte Based CBRAM |
| 2015-05-17 | Future of Memory: Application-driven or Technology-driven, which will dominate in the new era of computing |
| 2015-05-04 | Resistive Switching Characteristics and Mechanism of Oxide-Electrolyte-Based RRAM |
截至2015年12月，劉明先后主持參與了多項國家973、863項目。
| 項目時間 | 項目名稱 | 備注 |
|---|---|---|
| 2006-01--2011-12 | 分子電子學(xué)的基礎(chǔ)研究 | 主持，國家級 |
| 2008-01--2010-12 | 納米晶浮柵存儲器存儲材料及關(guān)鍵技術(shù) | 主持，國家級 |
| 2009-01--2011-12 | 32nm新型存儲器關(guān)鍵工藝解決方案 | 主持，國家級 |
| 2009-01--2012-12 | 納米加工與新型半導(dǎo)體器件研究 | 主持，國家級 |
| 2010-01--2014-08 | 納米結(jié)構(gòu)電荷俘獲材料及高密度多值存儲基礎(chǔ)研究 | 主持，國家級 |
| 2013-01--2015-12 | 新型微電子器件集成的基礎(chǔ)研究 | 主持，國家級 |
| 2014-01--2018-12 | 超高密度存儲器三維集成關(guān)鍵技術(shù)研究 | 主持，國家級 |
| 2014-07--2019-06 | 有機(jī)射頻電子標(biāo)簽的設(shè)計與制備 | 主持，部委級 |
| 2015-01--2017-12 | 科技北京百名領(lǐng)軍人才 | 主持，省級 |
| 2016-01--2018-12 | 新型微電子器件集成的基礎(chǔ)研究 | 主持，國家級 |
| 2016-08--2021-07 | 三維阻變存儲器基礎(chǔ)研究 | 主持，部委級 |
| 2017-01--2018-12 | 阻變存儲器材料與器件研究 | 主持，省級 |
| 2017-07--2018-06 | 基于高品質(zhì)異質(zhì)結(jié)構(gòu)的信息電子光電器件 | 主持，部委級 |
截至2017年7月，劉明先后獲得國家技術(shù)發(fā)明二等獎3項、國家科技進(jìn)步二等獎1項、中國電子學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎自然科學(xué)類一等獎、北京市科學(xué)技術(shù)一等獎2項、北京市科學(xué)技術(shù)二等獎2項和中國科學(xué)院杰出成就獎等獎項。
| 獲獎時間 | 項目名稱 | 獎勵名稱 |
|---|---|---|
| 2002年 | 0.18um的集成電路工藝技術(shù) | 北京市科學(xué)技術(shù)二等獎（排名第3） |
| 2003年 | 27nm CMOS器件 | 北京市科學(xué)技術(shù)一等獎（排名第10） |
| 2005年 | High Performance 70nm CMOS Devices | 中國科協(xié)期刊第一屆優(yōu)秀論文獎 |
| 2005年 | 亞30納米CMOS器件相關(guān)的若干關(guān)鍵工藝技術(shù)研究 | 國家技術(shù)發(fā)明二等獎（排名第四） |
| 2006 | 中高頻聲表面波關(guān)鍵材料與器件研究 | 省級一等獎 |
| 2007年 | 中高頻聲表面波關(guān)鍵材料及技術(shù)研究 | 國家技術(shù)發(fā)明二等獎（排名第二） |
| 2009年 | 移動通訊用濾波器關(guān)鍵技術(shù)及產(chǎn)業(yè)化 | 國家科技進(jìn)步二等獎（排名第四） |
| 2010年 | 微納結(jié)構(gòu)u2018自上而下u2019制備核心技術(shù)與集成應(yīng)用 | 北京市科學(xué)技術(shù)一等獎（排名第1） |
| 2013年 | 高精度微納結(jié)構(gòu)掩模制造核心技術(shù) | 國家技術(shù)發(fā)明二等獎（排名第一） |
| 2014年 | 阻變存儲器及集成的基礎(chǔ)研究 | 北京市科學(xué)技術(shù)二等獎（排名第1） |
| 2014年 | 極大規(guī)模集成電路關(guān)鍵技術(shù)研究集體 | 中國科學(xué)院杰出成就獎（排名第8） |
| 2015年 | 阻變存儲器機(jī)理與性能調(diào)控 | 中國電子學(xué)會科學(xué)技術(shù)獎自然科學(xué)類一等獎（排名第一） |
| 2016年 | 氧化物阻變存儲器機(jī)理與性能調(diào)控 | 國家自然科學(xué)獎（排名第一） |
人才培養(yǎng)
教育思想劉明提出：導(dǎo)師應(yīng)首先做到讓學(xué)生尊重信賴的人，并建議年輕導(dǎo)師保持樂觀的生活和工作態(tài)度，學(xué)高為師，身正為范。
教學(xué)成果獎勵| 時間 | 獎勵名稱 |
|---|---|
| 2011年度 | 中國科學(xué)院“優(yōu)秀研究生指導(dǎo)教師” |
| 2011年度 | 中國科學(xué)院“朱李月華優(yōu)秀教師” |
榮譽(yù)表彰
| 時間 | 榮譽(yù)/表彰 |
|---|---|
| 2012年 | 中國真空學(xué)會“中國真空科技成就獎（萊寶獎）” |
| 2015年12月7日 | 中國科學(xué)院院士（信息技術(shù)科學(xué)部） |
| 2017年3月8日 | 中國科學(xué)院第五屆“十大杰出婦女”榮譽(yù)稱號 |
| 2017年 | 何梁何利基金科學(xué)與技術(shù)進(jìn)步獎（電子信息技術(shù)獎） |
| 2018年11月28日 | 發(fā)展中國家科學(xué)院院士 |
社會任職
| 時間 | 擔(dān)任職務(wù) |
|---|---|
| 2017年11月— | IEEE, Fellow |
| 2016年01月— | 《the EDS Newsletter》Regional Editor |
| 2016年01月— | IEEE EDS Beijing Chapter 主席 |
| 2015年01月— | 國家重點(diǎn)研發(fā)計劃納米科技重點(diǎn)專項專家組成員 |
| 2014年01月— | 中國真空學(xué)會理事 |
| 2013年01月— | 《中國科學(xué)》編委 |
| 2011年01月— | IEEE Electron Devices Society, Distinguished Lecturer |
| 2011年01月— | 《Applied Physics A》編輯 |
| 2010年12月— | 無錫華潤微電子有限公司掩模工廠技術(shù)顧問 |
| 2008年06月— | 中國科學(xué)院科學(xué)出版社基金 |
| 2008年04-月— | “納米科學(xué)技術(shù)大系”編委會 |
| 2007年01月— | 中國科學(xué)院物理研究所納米物理與器件實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會 |
| 2006年09月— | 中國儀器儀表學(xué)會微納器件與系統(tǒng)技術(shù)分會，第一屆理事會名譽(yù)理事長 |
| 2002年11月— | 中國材料研究學(xué)會青年委員會 |
| 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所半導(dǎo)體材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會委員 |
人物評價
劉明長期致力于微電子科學(xué)技術(shù)領(lǐng)域的研究，在存儲器模型機(jī)理、材料結(jié)構(gòu)、核心共性技術(shù)和集成電路的微納加工等方面做出了系統(tǒng)、創(chuàng)造性貢獻(xiàn)。她建立了阻變存儲器（RRAM）物理模型，提出并實(shí)現(xiàn)高性能RRAM和集成的基礎(chǔ)理論和關(guān)鍵技術(shù)方法，產(chǎn)生重要國際影響。（中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)國家示范性微電子學(xué)院評）
