人物經(jīng)歷
1978-1982年：畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學(xué)半導(dǎo)體器件專業(yè)獲學(xué)士學(xué)位
1984-1988年：畢業(yè)于哈爾濱工業(yè)大學(xué)半導(dǎo)體器件與微電子學(xué)專業(yè)獲碩士學(xué)位
1988-1992年：哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院講師
1992-1999年：哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院副教授
1999-2003年：哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院教授
2003- 2014年：哈爾濱工業(yè)大學(xué)航天學(xué)院博士生導(dǎo)師
研究方向
從事MEMS、傳感器與執(zhí)行器及集成電路領(lǐng)域研究，包括： 1.MEMS CAD技術(shù)：MEMS微結(jié)構(gòu)模擬仿真與優(yōu)化設(shè)計(jì)，包括力、流體、溫度和電磁場(chǎng)等分析； 2.傳感器ASIC接口電路集成技術(shù)：通過(guò)集成電路芯片設(shè)計(jì)及加工實(shí)現(xiàn)傳感器與電路的集成化，包括模擬電路和數(shù)�；旌想娐沸酒O(shè)計(jì)； 3.MEMS多功能傳感器技術(shù)：包括壓力-溫度、聲-振動(dòng)和自檢測(cè)壓力等傳感器； 4.MEMS微驅(qū)動(dòng)和微執(zhí)行器技術(shù)：包括PZT壓電厚膜驅(qū)動(dòng)和微閥、微泵等； 5.MEMS SOC技術(shù)研究：包括微流體測(cè)控系統(tǒng)和微生化分析系統(tǒng)等； 6.生物芯片技術(shù)。
論著成果
[1]劉曉為等, 硼摻雜多晶硅薄膜電阻率的溫度特性, 半導(dǎo)體學(xué)報(bào), 1994,15（6）:429-434
[2]Liu Xiao-wei, et al, A New Water Permeability Sensor for Test of Thin Films, J.of Micromech..& Microeng., 1995, 5: 147-149
[3]劉曉為等, 電容式加速度傳感器的計(jì)算機(jī)模擬, 壓電與聲光, 2001.10:170~172
[4]Liu Xiao-wei, et al. Computer Simulation of Polysilicon Pressure Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICTu201998. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
[5]Liu Xiao-wei, et al. High Temperature Pressure and Temperature Multifunction Sensors: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICTu201998. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
[6]Liu Xiao-wei, et al. Investigation of KOH Etching for Improving Surface quality: Min Zhang.1998 5TH INTERNATIONAL CONFERENCE ON SOLID-STATE AND INTEGRATED CIRCUIT TECHNOLOGY. ICSICTu201998. BeiJing.1998.IEEE.1998.10.
[7]Liu Xiao-wei, et al. Simulation of Piezoelectric Driven Diaphragms of Micropumps: FOURTH INTERNATIONAL CONFERENCE ON ELECTRONIC MEASUREMENT & INSTRUMENTS. ICEMIu201999. Harbin.1999.EMI & HIT.1999.08.
[8]Liu Xiao-wei, et al, Investigation of Piezoresistive Effect of Polysilicon Films in High Temperature: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
[9]Liu Xiao-wei, et al, Polysilicon SOI Pressure Sensor with Self-Testing Function: PACIFIC RIM WORKSHOP ON TRANSDUCERS AND MICRO/NANO TECHNOLOGIES. Xia Men, 2002.07.
[10]Liu Xiao-wei, et al, Simulation of bulk micromachined vibration sensor with low noise: International Symposium on Micro technology. SPIE. Spain.2003.05.
