基本內(nèi)容
簡(jiǎn)歷(教育背景)
1989.7 華東師范大學(xué)電子系 (本科)
研究方向(包括任教課程)
半導(dǎo)體器件工藝及集成電路芯片解剖分析
代表性成果
國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目“高密度封裝用新型材料與互連技術(shù)研究”, 通過(guò)國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)的驗(yàn)收,研究成果評(píng)價(jià)等級(jí)為優(yōu)。
近五年發(fā)表論文
1. Ag 基多層氮化鋁陶瓷基板低溫共燒的工藝研究 半導(dǎo)體技術(shù) , 第 29 卷,第 3 期, 2004 年
2. 應(yīng)用于藍(lán)牙技術(shù)發(fā)展的 LTCC--AlN 多層布線工藝 功能材料,第 33 卷,第 5 期, 2002 年
3. 銅布線工藝中阻擋層鉭膜的研究 固體電子學(xué)研究與進(jìn)展,第 22 卷,第 1 期, 2002 年
4. 鉭薄膜淀積速度與阻擋效果的研究固體電子學(xué)研究與進(jìn)展,第 22 卷,第 2 期, 2002 年
5. 以氮化鋁陶瓷為基板的倒扣封裝工藝研究 固體電子學(xué)研究與進(jìn)展,第 21 卷,第 1 期, 2001 年