個人簡介
多年來一直從事微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）傳感器與執(zhí)行器的設(shè)計、仿真與制造技術(shù)研究，并結(jié)合納米材料的特性研究，開展微納系統(tǒng)（NEMS/MEMS）器件的集成與應(yīng)用開發(fā)研究。作為課題組長或主要人員先后完成了多項國家或省部級重大科研項目，如“863”、自然科學(xué)基金、上海市科委專項基金等，包括MEMS微機(jī)械加速度開關(guān)、電磁微機(jī)械繼電器、基于多元UV-LIGA技術(shù)的RF MEMS、生物微納系統(tǒng)、MEMS集成光纖連接器、碳納米管場發(fā)射（FET）集成器件、電磁微型馬達(dá)、電熱微驅(qū)動執(zhí)行器等。近年來在國內(nèi)外重要學(xué)術(shù)期刊或會議上發(fā)表論文百余篇，被SCI、EI收錄70多篇，他引40余次，申請發(fā)明專利60多項，近30項已獲授權(quán)，其中技術(shù)成果轉(zhuǎn)讓3項。2004年獲 得上海市育才獎，2007年獲上海市技術(shù)發(fā)明一等獎，并于2000和2008年先后兩次獲得國家科技進(jìn)步二等獎。
研究方向
· 微電子機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計、仿真與制造（Design, Simulation and Fabrication of MEMS）：微機(jī)械加速度傳感器件、電熱微驅(qū)動器
· 微納系統(tǒng)器件集成與開發(fā)（Integration and Application of NEMS）：微納場發(fā)射器件、微流體芯片
· 射頻MEMS系統(tǒng)（RF MEMS）：RF開關(guān)、移相器、微波/毫米波天線
參與作品
| 單軸微拉伸MEMS材料力學(xué)性能測試的系統(tǒng)集成 | |
| 汪紅，湯俊，劉瑞，陳暉，丁桂甫 | |
| 上海交通大學(xué) 微納科學(xué)技術(shù)研究院 薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點實驗室 微米/納米加工國家重點實驗室，上海 200240 | |
| 摘要： 為了對微米尺度薄膜材料的力學(xué)性能進(jìn)行測試，開發(fā)了一套成本較低的單軸微拉伸MEMS材料力學(xué)性能測試系統(tǒng)。首先，根據(jù)有限元模擬優(yōu)化設(shè)計測試樣片，使其能夠易于夾持、準(zhǔn)確對中，以利于應(yīng)力和應(yīng)變的測量。接著采用三維非硅UV-LIGA微加工技術(shù)制備了Ni薄膜樣片。根據(jù)單軸拉伸測試過程和硬件構(gòu)成，以Visual Basic為平臺編譯了一套數(shù)據(jù)采集與分析系統(tǒng)。最后，應(yīng)用該測試系統(tǒng)完成對電鍍Ni薄膜材料性能的測試。實驗結(jié)果表明，該系統(tǒng)能夠精確測試試樣應(yīng)變，精度達(dá)到0.01 μm，拉伸力精度達(dá)到mN級。得到的電鍍Ni薄膜材料的楊氏模量約為94.5 GPa,抗拉強(qiáng)度約為1.76 GPa。該系統(tǒng)基本滿足微米尺度材料單軸微拉伸力學(xué)性能測試的需要。 | |
| 關(guān)鍵詞： 材料力學(xué)測試微機(jī)電系統(tǒng)單軸微拉伸 有限元模擬 UV-LIGA楊氏模量鎳 |
