個(gè)人簡(jiǎn)介
多年來(lái)一直從事微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）傳感器與執(zhí)行器的設(shè)計(jì)、仿真與制造技術(shù)研究，并結(jié)合納米材料的特性研究，開(kāi)展微納系統(tǒng)（NEMS/MEMS）器件的集成與應(yīng)用開(kāi)發(fā)研究。作為課題組長(zhǎng)或主要人員先后完成了多項(xiàng)國(guó)家或省部級(jí)重大科研項(xiàng)目，如“863”、自然科學(xué)基金、上海市科委專(zhuān)項(xiàng)基金等，包括MEMS微機(jī)械加速度開(kāi)關(guān)、電磁微機(jī)械繼電器、基于多元UV-LIGA技術(shù)的RF MEMS、生物微納系統(tǒng)、MEMS集成光纖連接器、碳納米管場(chǎng)發(fā)射（FET）集成器件、電磁微型馬達(dá)、電熱微驅(qū)動(dòng)執(zhí)行器等。近年來(lái)在國(guó)內(nèi)外重要學(xué)術(shù)期刊或會(huì)議上發(fā)表論文百余篇，被SCI、EI收錄70多篇，他引40余次，申請(qǐng)發(fā)明專(zhuān)利60多項(xiàng)，近30項(xiàng)已獲授權(quán)，其中技術(shù)成果轉(zhuǎn)讓3項(xiàng)。2004年獲 得上海市育才獎(jiǎng)，2007年獲上海市技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)，并于2000和2008年先后兩次獲得國(guó)家科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。
研究方向
· 微電子機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)、仿真與制造（Design, Simulation and Fabrication of MEMS）：微機(jī)械加速度傳感器件、電熱微驅(qū)動(dòng)器
· 微納系統(tǒng)器件集成與開(kāi)發(fā)（Integration and Application of NEMS）：微納場(chǎng)發(fā)射器件、微流體芯片
· 射頻MEMS系統(tǒng)（RF MEMS）：RF開(kāi)關(guān)、移相器、微波/毫米波天線
參與作品
| 單軸微拉伸MEMS材料力學(xué)性能測(cè)試的系統(tǒng)集成 | |
| 汪紅，湯俊，劉瑞，陳暉，丁桂甫 | |
| 上海交通大學(xué) 微納科學(xué)技術(shù)研究院 薄膜與微細(xì)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 微米/納米加工國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，上海 200240 | |
| 摘要： 為了對(duì)微米尺度薄膜材料的力學(xué)性能進(jìn)行測(cè)試，開(kāi)發(fā)了一套成本較低的單軸微拉伸MEMS材料力學(xué)性能測(cè)試系統(tǒng)。首先，根據(jù)有限元模擬優(yōu)化設(shè)計(jì)測(cè)試樣片，使其能夠易于夾持、準(zhǔn)確對(duì)中，以利于應(yīng)力和應(yīng)變的測(cè)量。接著采用三維非硅UV-LIGA微加工技術(shù)制備了Ni薄膜樣片。根據(jù)單軸拉伸測(cè)試過(guò)程和硬件構(gòu)成，以Visual Basic為平臺(tái)編譯了一套數(shù)據(jù)采集與分析系統(tǒng)。最后，應(yīng)用該測(cè)試系統(tǒng)完成對(duì)電鍍Ni薄膜材料性能的測(cè)試。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該系統(tǒng)能夠精確測(cè)試試樣應(yīng)變，精度達(dá)到0.01 μm，拉伸力精度達(dá)到mN級(jí)。得到的電鍍Ni薄膜材料的楊氏模量約為94.5 GPa,抗拉強(qiáng)度約為1.76 GPa。該系統(tǒng)基本滿足微米尺度材料單軸微拉伸力學(xué)性能測(cè)試的需要。 | |
| 關(guān)鍵詞： 材料力學(xué)測(cè)試微機(jī)電系統(tǒng)單軸微拉伸 有限元模擬 UV-LIGA楊氏模量鎳 |
