1980年9月至1985年7月，清華大學無線電系學習，1987年畢業(yè)于電子工業(yè)部北京真空電子技術研究所，獲工學碩士學位，同年12月到中國專利局工作；

1987年12月至2004年6月任專利局電學發(fā)明審查部審查員、國家知識產(chǎn)權局專利復審委員會審查員、副處長、處長；

2004年6月至2009年6月任國家知識產(chǎn)權局專利局審查業(yè)務管理部副部長、部長；

2009年6月至2014年7月任國家知識產(chǎn)權局專利復審委員會副主任（主持工作），其間，2010年10月至2012年10月任福建省平潭綜合實驗區(qū)管委會副主任、黨工委委員（掛職）；

2014年7月任國家知識產(chǎn)權局專利局副局長（正局級）；

2016年5月任國家知識產(chǎn)權局副局長、黨組成員。

2018年12月任國家國際發(fā)展合作署副署長。

2018年12月28日，國務院任命張茂于為國家國際發(fā)展合作署副署長。