基本內(nèi)容
路敦武高級工程師。生于1940年,吉林延吉人。畢業(yè)于長春光學(xué)精密機械學(xué)院。現(xiàn)任職于中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所。主要專利發(fā)明有:用吸附針尖組裝微小構(gòu)件的裝置(專利號:ZL94329919.6);線條傾斜測量誤差自、動補償方法(專利號:ZL94112044.9)等六項;鑒定科研成果十三項。其中:掃描投影光刻機,獲上海市科學(xué)進(jìn)步一等獎;I:IStepper亞微米光刻鏡頭,獲上海市科學(xué)進(jìn)步二等獎;掃描投影光刻機,獲中國科學(xué)院科學(xué)技術(shù)二等獎。在國內(nèi)發(fā)表學(xué)術(shù)論文六十余篇,另有《光學(xué)系統(tǒng)的研究與檢驗》譯著一部。