人物簡介
性 別 男
出生年月 197105
學(xué)位/學(xué)歷 博士（后）
職 稱 教授
一級學(xué)科 控制科學(xué)與工程 二級學(xué)院 機電工程學(xué)院 二級學(xué)科 檢測技術(shù)與自動化裝置
研究方向 高速超精機電系統(tǒng)、動力學(xué)與控制，減振技術(shù)等
Fellow,于2002年8月開始加盟ASM亞太研究中心。主要從事高精密機器與復(fù)雜設(shè)備系統(tǒng)動力學(xué)、結(jié)構(gòu)工程及振動控制等方面的研究。在實際工作中，已陸續(xù)參加和主持了國內(nèi)外(科技部、中國航天科技集團(tuán),中科院重大知識創(chuàng)新、新加坡政府、世界第一大半導(dǎo)體封裝設(shè)備供應(yīng)商ASM亞太，上海市科委等) 多項大型高新項目的研究，主要參加和承擔(dān)過國家十五與863重大專項，承擔(dān)2項有關(guān)的重大專項的子項目。近些年，主要從事高速超精半導(dǎo)體裝備，如后道微電子封裝設(shè)備(如引線鍵合機等)、前道制造設(shè)備(100nm步進(jìn)掃描光刻機)的研究工作。多次受邀參加國內(nèi)外舉辦的高水平的學(xué)術(shù)會議等。于2006年8月獲上海浦江人才計劃資助的項目“雙軸驅(qū)動高速高精工件臺研制”(A類)，在2008年8月獲評“出色地”完成；2007年12月曾榮獲教育部自然科學(xué)獎一等獎（第二完成人）等多個項目獎。
2009年2月底加入中國計量學(xué)院。
在研課題
計量學(xué)院引進(jìn)人才項目（主持人）；
浙江杰出青年基金項目（R1100015/主持人）；
國家自然科學(xué)基金項目（51075377/主持人）；
國家重點實驗室開放基金項目（GZKF-201017/主持人）；
國家重點實驗室開放基金項目（DMETKF2010006/主持人）；
某大型叉車的動力學(xué)分析與減振設(shè)計
獲獎情況
2000年1月, 在國家重大知識創(chuàng)新項目研制中, 被評為所”先進(jìn)科技工作者”;
2006 年1月 在國家863重大專項研究中，被研究中心評為“先進(jìn)員工”。
2006年8月 獲得上�！捌纸瞬庞媱潯�(A類資助), 于2008年8月獲評“出色地”完成了任務(wù)。
2007年12月 獲得 教育部“自然科學(xué)獎”（一等獎）一項。
申請的發(fā)明專利
(包括第二作者及以后)
發(fā)明專利 (34)條
【01】200710173581.9 一種剪式提升裝置
【02】200710172427.X 一種工件臺平衡質(zhì)量定位系統(tǒng)
【03】200710172429.9 工件臺平衡質(zhì)量定位系統(tǒng)
【04】200710173146.6 單孔形標(biāo)記對準(zhǔn)信號處理方法
【05】200710173575.3 光刻設(shè)備的探測裝置與探測方法
【06】200810033058.0 一種抓手角度可調(diào)的夾取裝置
【07】200710172938.1 基于自適應(yīng)糾正處理提高對準(zhǔn)信號處理精度的方法(已授權(quán))
【08】200710045581.0 一種精密提升裝置
【09】200510026019.4 一種精密減振和定位裝置
【10】200510029686.8 一種隨機響應(yīng)信號測量與分析的方法
【11】200510112113.1 一種精密定位和調(diào)整工裝(已授權(quán))
【12】200610025895.X 一種復(fù)合減振式光刻裝置(已授權(quán))
【13】200610147842.5 懸掛式支撐成像系統(tǒng)及光刻裝置
【14】200710040650.9 一種傳輸控制裝置及其控制方法(已授權(quán))
【15】200710040997.3 一種多鏈接傳輸控制方法
【16】200710041769.8 一種旋轉(zhuǎn)交換的雙臺系統(tǒng)(已授權(quán))
【17】200710042417.4 光刻機工件臺平衡定位系統(tǒng)(已授權(quán))
【18】200710043324.3 垂向微調(diào)及重力補償裝置與光刻機(已授權(quán))
【19】200710041226.6 光刻機工件臺平衡定位系統(tǒng)(已授權(quán))
【20】200710044559.4 光刻裝置的對準(zhǔn)方法及系統(tǒng)(已授權(quán))
【21】200710044848.4 脈沖信號的逼近方法 (已授權(quán))
【22】200710046060.7 氣缸活塞減振裝置(已授權(quán))
【23】200810036911.4 二維編碼歸一化對準(zhǔn)標(biāo)記組合及其對準(zhǔn)方法和對準(zhǔn)系統(tǒng)
【24】200810036910.X 歸一化對準(zhǔn)標(biāo)記組合及其對準(zhǔn)方法和對準(zhǔn)系統(tǒng)
【25】200810038391.0 光刻設(shè)備的探測裝置、探測方法及制造方法(已授權(quán))
【26】200810037649.5 六自由度微動臺(已授權(quán))
【27】200810200646.9 脈沖波強度采樣同步的校準(zhǔn)方法與系統(tǒng)
【28】200810200919.X 主動減振系統(tǒng)及其預(yù)見控制方法(已授權(quán))
【29】200810200647.3 信道增益數(shù)字均衡自適應(yīng)校準(zhǔn)系統(tǒng)與方法
【30】200810201311.9 主動減振隔振裝置及主動減振隔振系統(tǒng)(已授權(quán))
【31】200810200917.0 一種同軸度檢測裝置
【32】200910045207.X 一種減振支撐裝置
【33】200780050936.3 可逆極性解碼器電路及相關(guān)方法
【34】201010121928.7 一種活塞往復(fù)式壓縮機“無余隙”機型的分體型吸氣閥體及其安裝方法
實用新型專利 (7)條
【35】200720074739.2 活塞氣缸減振機構(gòu)
【36】200720076163.3 垂向微調(diào)及重力補償機構(gòu)
【37】200620041223.3 一種可以轉(zhuǎn)出的帶有記憶功能的六自由度精密調(diào)節(jié)裝置
【38】200620049444.5 一種柔性支撐機構(gòu)
【39】200720067425.X 一種大阻尼精密柔性支撐機構(gòu)
【40】200720076162.9 一種工件臺平衡定位裝置
【41】200720076166.7 一種精密提升裝置
帶領(lǐng)課題組申請發(fā)明專利34項，其中15項發(fā)明專利業(yè)已授權(quán)。
科研項目
航天工程項目：長二捆運載火箭上面級約束阻尼結(jié)構(gòu)系統(tǒng)動力學(xué)分析與優(yōu)化
航天工程項目：某儀器艙模態(tài)分析、測試及一體化振動控制方法研究
新加坡科技部項目: Dynamics Properties Investigation and Advanced Servo Control for Hard Disk Drives (HDDs).
SONY Singapore Research Lab: Micro-Sensing & Bandwidth Extension of Hard Disk Drives.
Seagate Singapore: Research & Development of Micro-Modal Testing Technologies.
主要參與國家十五與863重大專項，負(fù)責(zé)整機動力學(xué)仿真優(yōu)化與試驗及精密主動減振系統(tǒng)
主持/參與完成兩個國家863重大專項子項目等.
