個(gè)人信息
宗明成,研究員。
所屬部門
電子設(shè)備技術(shù)研究室(八室)
簡歷
教育背景
1989年畢業(yè)于清華大學(xué)物理系,獲理學(xué)(光學(xué))博士學(xué)位。
1986年畢業(yè)于東南大學(xué)電子工程系,獲工學(xué)碩士學(xué)位。
1983年畢業(yè)于東南大學(xué)電子工程系,獲工學(xué)學(xué)士學(xué)位。。
工作簡歷
2011.04 u2013至今:中國科學(xué)院微電子研究所研究員、博士生導(dǎo)師,國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專家組和實(shí)施辦公室特聘專家。中國科學(xué)院光電研究院兼職研究員,中國科學(xué)院長春光機(jī)所兼職研究員,哈爾濱工業(yè)大學(xué)兼職教授。
2009.05 u2013 2011.03:荷蘭皇家飛利浦照明研發(fā)中心(中國)總監(jiān)。
2000.01 u2013 2009.05:荷蘭ASML光刻機(jī)公司研發(fā)經(jīng)理,高級(jí)工程師。
1999.02 u2013 1999.12:荷蘭國家原子分子研究所 (AMOLF)研究員。
1998.02 u2013 1999.01:荷蘭代爾夫特(Delft)技術(shù)大學(xué)研究員。
1990.01 u2013 1998.01:北京交通大學(xué)教授,系主任等。