研究方向
1、設備遠程監(jiān)測與智能維護技術:基于狀態(tài)的維護(CBM)技術研究,大型設備遠程監(jiān)測與故障診斷平臺開發(fā),非侵入式低成本電機系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)測與節(jié)能技術研究。
2、IC制造先進過程控制技術:IC制造先進過程控制(APC)與故障診斷(FDC)算法研究,IC裝備自動化控制系統(tǒng)平臺開發(fā)。
成就及榮譽
近年來主持完成大型設備遠程監(jiān)測與智能維護方向863項目一項、沈陽市科技攻關項目一項。在核心期刊發(fā)表專業(yè)論文20余篇。曾獲中國科學院、遼寧省、沈陽市科及全軍科技進步獎多項。
主持中科院先進制造基地創(chuàng)新項目2項、沈陽市科技攻關項目1項,作為子課題負責人主持863計劃項目1項,主要開展非侵入式低成本電機系統(tǒng)狀態(tài)監(jiān)測與節(jié)能技術研究及系統(tǒng)開發(fā)、IC制造先進過程控制技術研究及控制系統(tǒng)平臺開發(fā)。