人物經(jīng)歷
教育經(jīng)歷
（1） 學(xué)士，北京師范大學(xué)無線電電子學(xué)系，1983年獲無線電電子學(xué)理學(xué)學(xué)士學(xué)位；
（2） 碩士，中國礦業(yè)大學(xué)信息電子工程學(xué)院，1993年獲計算機應(yīng)用工學(xué)碩士學(xué)位；
（3） 博士，中國礦業(yè)大學(xué)機械工程學(xué)院，2001年獲機械設(shè)計及理論工學(xué)博士學(xué)位 。
工作經(jīng)歷
1983.08-1996.12，中國礦業(yè)大學(xué)，講師
1997.01-2004.03，中國礦業(yè)大學(xué)，副教授
1999.09-2001.07，清華大學(xué)制造工程研究所，訪問學(xué)者
2001.09-2004.03，清華大學(xué)制造工程研究所，博士后
2004.04-2007.11，清華大學(xué)精儀系，副教授
2007.12-2012.12/-至今，清華大學(xué)精儀系制造所/機械系機電所，長聘教授，博導(dǎo)
研究方向
主要從事超精密機械與測控方向研究，包括精密測量與控制理論、超精密機械設(shè)計與制造、電子制造裝備及其系統(tǒng)等，研制出國內(nèi)首個光刻機雙工件臺系統(tǒng)樣機，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)已達到國際同類光刻機雙工件臺的先進水平。
主要成就
朱煜帶領(lǐng)百余人重大科技研究攻關(guān)團隊，面向IC制造裝備的重大技術(shù)需求，圍繞納米級運動精度的生成，在超精密機械系統(tǒng)設(shè)計、超精密測量、超精密運動控制等方面，開展系統(tǒng)、深入的基礎(chǔ)理論與關(guān)鍵技術(shù)研究。主持國家科技重大專項項目及國家基礎(chǔ)科學(xué)研究計劃課題，研制出超精密工件臺系統(tǒng)、大行程氣浮/磁浮平面電機、六自由度納米精度微動臺等半導(dǎo)體制造裝備核心部件，掌握了IC制造裝備包括超精密機械設(shè)計與制造、超精密激光干涉測量與標(biāo)定、納米精度高動態(tài)運動控制、高性能主動/被動隔振等具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列關(guān)鍵技術(shù)。
撰寫學(xué)術(shù)專著2部；發(fā)表學(xué)術(shù)論文總數(shù)171篇，其中SCI收錄54篇、EI收錄166篇，他引250次；申請中國發(fā)明專利130余項，其中93項已授權(quán)，22項已公開；申請21項PCT專利，其中10項美國授權(quán)；此外申請實用新型專利30余項，其中23項已授權(quán)。
2019年3月1日，2018年度北京科學(xué)技術(shù)獎勵大會在北京會議中心召開。由清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點實驗室朱煜教授率領(lǐng)的研究團隊完成的“納米運動精度光刻機超精密雙工件臺技術(shù)與應(yīng)用”研究成果獲得北京市科學(xué)技術(shù)獎一等獎。
2020年10月，由清華大學(xué)機械工程系長聘教授朱煜博士一人參與創(chuàng)辦的兩家公司都在申報科創(chuàng)板IPO：一家是由他實際控制的北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱“華卓精科”），另一家是由他聯(lián)合創(chuàng)建、歸屬清華大學(xué)的華海清科股份有限公司（簡稱“華海清科”）。
榮譽記錄
曾先后獲得 2015年國家專利優(yōu)秀獎、2018年國家專利銀獎、2018年北京市科學(xué)技術(shù)獎一等獎等多項榮譽。
代表著作
1．陳霸東，朱煜，胡金春，《系統(tǒng)參數(shù)辨識的信息準(zhǔn)則及算法》. 2011.
2．陳霸東，朱煜，胡金春，Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms，Elsevier(英文版). 2013.
代表專利
1. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. COARSE MOTION AND FINE MOTION INTEGRATED RETICLE STAGE DRIVEN BY PLANAR MOTOR, US 15/307,752.
2. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. DUAL-FREQUENCY GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,828
3. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. OPTICAL GRATING PHASE MODULATOR FOR LASER INTERFERENCE PHOTOETCHING SYSTEM, US 14/761,605.
4. ZHU Yu, WANG Leijie, et al. THREE-DOF HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/900,111.
5. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. SIX-DEGREE-OF-FREEDOM DISPLACEMENT MEASUREMENT METHOD FOR EXPOSURE REGION ON SILICON WAFER STAGE, US 15/568,118.
6. ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,821.
7. 張鳴,朱煜,等.一種三自由度的運動工作臺,201510587639.9.
8. 穆海華,朱煜,等.一種永磁彈射掩模臺彈射區(qū)電機出力最小軌跡規(guī)劃方法,201510802623.5.
9. 朱煜,胡金春,等.一種基于磁場的六自由度位移測量方法, 201510959014.0.
10.朱煜,楊開明,等.一種基于VPX總線的工件臺同步運動控制系統(tǒng)及方法, 201510983397.5.
