人物經(jīng)歷
教育經(jīng)歷
（1） 學(xué)士，北京師范大學(xué)無線電電子學(xué)系，1983年獲無線電電子學(xué)理學(xué)學(xué)士學(xué)位；
（2） 碩士，中國礦業(yè)大學(xué)信息電子工程學(xué)院，1993年獲計(jì)算機(jī)應(yīng)用工學(xué)碩士學(xué)位；
（3） 博士，中國礦業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院，2001年獲機(jī)械設(shè)計(jì)及理論工學(xué)博士學(xué)位 。
工作經(jīng)歷
1983.08-1996.12，中國礦業(yè)大學(xué)，講師
1997.01-2004.03，中國礦業(yè)大學(xué)，副教授
1999.09-2001.07，清華大學(xué)制造工程研究所，訪問學(xué)者
2001.09-2004.03，清華大學(xué)制造工程研究所，博士后
2004.04-2007.11，清華大學(xué)精儀系，副教授
2007.12-2012.12/-至今，清華大學(xué)精儀系制造所/機(jī)械系機(jī)電所，長聘教授，博導(dǎo)
研究方向
主要從事超精密機(jī)械與測控方向研究，包括精密測量與控制理論、超精密機(jī)械設(shè)計(jì)與制造、電子制造裝備及其系統(tǒng)等，研制出國內(nèi)首個(gè)光刻機(jī)雙工件臺(tái)系統(tǒng)樣機(jī)，關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)已達(dá)到國際同類光刻機(jī)雙工件臺(tái)的先進(jìn)水平。
主要成就
朱煜帶領(lǐng)百余人重大科技研究攻關(guān)團(tuán)隊(duì)，面向IC制造裝備的重大技術(shù)需求，圍繞納米級(jí)運(yùn)動(dòng)精度的生成，在超精密機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)、超精密測量、超精密運(yùn)動(dòng)控制等方面，開展系統(tǒng)、深入的基礎(chǔ)理論與關(guān)鍵技術(shù)研究。主持國家科技重大專項(xiàng)項(xiàng)目及國家基礎(chǔ)科學(xué)研究計(jì)劃課題，研制出超精密工件臺(tái)系統(tǒng)、大行程氣浮/磁浮平面電機(jī)、六自由度納米精度微動(dòng)臺(tái)等半導(dǎo)體制造裝備核心部件，掌握了IC制造裝備包括超精密機(jī)械設(shè)計(jì)與制造、超精密激光干涉測量與標(biāo)定、納米精度高動(dòng)態(tài)運(yùn)動(dòng)控制、高性能主動(dòng)/被動(dòng)隔振等具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的系列關(guān)鍵技術(shù)。
撰寫學(xué)術(shù)專著2部；發(fā)表學(xué)術(shù)論文總數(shù)171篇，其中SCI收錄54篇、EI收錄166篇，他引250次；申請(qǐng)中國發(fā)明專利130余項(xiàng)，其中93項(xiàng)已授權(quán)，22項(xiàng)已公開；申請(qǐng)21項(xiàng)PCT專利，其中10項(xiàng)美國授權(quán)；此外申請(qǐng)實(shí)用新型專利30余項(xiàng)，其中23項(xiàng)已授權(quán)。
2019年3月1日，2018年度北京科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)勵(lì)大會(huì)在北京會(huì)議中心召開。由清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室朱煜教授率領(lǐng)的研究團(tuán)隊(duì)完成的“納米運(yùn)動(dòng)精度光刻機(jī)超精密雙工件臺(tái)技術(shù)與應(yīng)用”研究成果獲得北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)。
2020年10月，由清華大學(xué)機(jī)械工程系長聘教授朱煜博士一人參與創(chuàng)辦的兩家公司都在申報(bào)科創(chuàng)板IPO：一家是由他實(shí)際控制的北京華卓精科科技股份有限公司（簡稱“華卓精科”），另一家是由他聯(lián)合創(chuàng)建、歸屬清華大學(xué)的華海清科股份有限公司（簡稱“華海清科”）。
榮譽(yù)記錄
曾先后獲得 2015年國家專利優(yōu)秀獎(jiǎng)、2018年國家專利銀獎(jiǎng)、2018年北京市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)等多項(xiàng)榮譽(yù)。
代表著作
1．陳霸東，朱煜，胡金春，《系統(tǒng)參數(shù)辨識(shí)的信息準(zhǔn)則及算法》. 2011.
2．陳霸東，朱煜，胡金春，Jose C.Principe. System Parameter Identification Information Criteria & Algorithms，Elsevier(英文版). 2013.
代表專利
1. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. COARSE MOTION AND FINE MOTION INTEGRATED RETICLE STAGE DRIVEN BY PLANAR MOTOR, US 15/307,752.
2. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. DUAL-FREQUENCY GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,828
3. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. OPTICAL GRATING PHASE MODULATOR FOR LASER INTERFERENCE PHOTOETCHING SYSTEM, US 14/761,605.
4. ZHU Yu, WANG Leijie, et al. THREE-DOF HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/900,111.
5. ZHU Yu, ZHANG Ming, et al. SIX-DEGREE-OF-FREEDOM DISPLACEMENT MEASUREMENT METHOD FOR EXPOSURE REGION ON SILICON WAFER STAGE, US 15/568,118.
6. ZHANG Ming, ZHU Yu, et al. HETERODYNE GRATING INTERFEROMETER DISPLACEMENT MEASUREMENT SYSTEM, US 14/441,821.
7. 張鳴,朱煜,等.一種三自由度的運(yùn)動(dòng)工作臺(tái),201510587639.9.
8. 穆海華,朱煜,等.一種永磁彈射掩模臺(tái)彈射區(qū)電機(jī)出力最小軌跡規(guī)劃方法,201510802623.5.
9. 朱煜,胡金春,等.一種基于磁場的六自由度位移測量方法, 201510959014.0.
10.朱煜,楊開明,等.一種基于VPX總線的工件臺(tái)同步運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)及方法, 201510983397.5.
