民國元年(公元1912年)5月，山西省奉中華民國臨時(shí)政府命令，改歸綏道為歸綏觀察使公署。不久，歸綏觀察使公署所轄的歸化、薩拉齊、托克托、和林格爾、清水河、豐鎮(zhèn)、寧遠(yuǎn)(今涼城)、興和、陶林(今察哈爾右翼中旗)、武川、五原、東勝等口外12廳改為縣。10月，新任綏遠(yuǎn)城將軍張紹曾改清制綏遠(yuǎn)將軍衙門為綏遠(yuǎn)將軍府，取消兵司、戶司及印房等機(jī)構(gòu)，設(shè)總務(wù)處，下置5個(gè)科管理旗務(wù)。

民國2年(公元1913年)，綏遠(yuǎn)省將軍張紹曾為“維持行政統(tǒng)一”，召集歸綏觀察使公署所屬12縣、烏蘭察布盟、伊克昭盟及土默特總管旗有關(guān)人士，組成烏伊歸綏聯(lián)合會(huì)，上書中華民國政府，要求實(shí)行晉綏分治。當(dāng)年，中華民國政府?dāng)M定將綏遠(yuǎn)地區(qū)劃設(shè)為特別行政區(qū)，以歸綏觀察使公署所轄12縣、烏蘭察布盟、伊克昭盟及土默特總管旗為轄區(qū)。將軍府設(shè)民政廳、軍政廳，分理軍民事務(wù)。并擬裁撤歸化城副都統(tǒng)，為此，土默特參佐各官以“蒙情惶惑，礙難裁撤”為由電請(qǐng)中華民國政府保留，遂由國務(wù)總理會(huì)議議決歸化城副都統(tǒng)一職由綏遠(yuǎn)城將軍兼任。

民國3年(公元1914年)1月，觀察使改稱道尹，歸綏道觀察使公署改稱歸綏道尹公署。6月，中華民國政府令準(zhǔn)設(shè)察哈爾特別區(qū)域，并將歸綏道所轄綏東4縣(豐鎮(zhèn)、涼城、興和、陶林)劃屬察哈爾特別區(qū)。

民國3年(公元1914年)7月6日，中華民國政府下令成立綏遠(yuǎn)特別區(qū)域，“改綏遠(yuǎn)城將軍為綏遠(yuǎn)都統(tǒng)”，“綏遠(yuǎn)都統(tǒng)之下設(shè)置綏遠(yuǎn)道尹一缺”，“各該道尹均治理民政，兼受蒙旗事務(wù)，以專責(zé)成�！蓖�日，中華民國政府公布了《熱河道綏遠(yuǎn)道興和道區(qū)域表》，規(guī)定：“綏遠(yuǎn)道轄縣區(qū)域?yàn)闅w綏、薩拉齊、清水河、托克托、和林格爾、五原、武川、東勝�！�

綏遠(yuǎn)特別行政區(qū)的地方長(zhǎng)官稱為都統(tǒng)，公署稱為都統(tǒng)署(或都統(tǒng)府)。都統(tǒng)由大總統(tǒng)簡(jiǎn)任，地位略低于省行政長(zhǎng)官。與各省分設(shè)軍政、民政長(zhǎng)官不同，都統(tǒng)兼軍、民兩政于一職，雖然制度上已把兩個(gè)職位合而為一，但許多方面仍側(cè)重軍政事務(wù)。綏遠(yuǎn)都統(tǒng)所轄區(qū)域：綏遠(yuǎn)道、烏蘭察布盟、伊克昭盟、土默特旗。

1928年南京國民政府廢止綏遠(yuǎn)特別區(qū)，改置綏遠(yuǎn)省。