1983、1986、1994年分別在清華大學無線電電子學系、中國科學院電子學研究所、

英國劍橋大學工程系電子工程專業(yè)獲得學士、碩士和博士學位。1990年獲得皇家學會Royal Fellowship，并兩次（2001-2003年、2004-2007年）獲得英國皇家學會國際合作項目； 1998年曾赴香港科技大學電機與電子工程系進行短期合作研究；獲得美國加州大學伯克利分校2002－2004年度Berkeley Scholarship，多次赴伯克利傳感器與執(zhí)行器中心(BSAC)開展合作研究工作。

1995年至今在中國科學院電子學研究所工作，目前任研究員、博士生導師、所學術(shù)委員會和學位委員會委員，并擔任傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點實驗室北方基地主任。主要從事傳感器及其系統(tǒng)、微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)研究。 曾擔任國家“十五”863計劃微機電系統(tǒng)（MEMS）重大專項總體專家組成員。作為項目負責人或首席科學家，先后承擔國家自然科學基金、973、863等二十余項國家級科研項目，發(fā)表論文二百余篇，作為第一發(fā)明人獲得中國發(fā)明專利九項。在電場傳感器、生物微傳感集成化芯片系統(tǒng)（SOC）等方面取得多項創(chuàng)新研究成果。指導的研究生多人獲得各類獎項，其中三人獲得中國科學院院長獎學金優(yōu)秀獎。

發(fā)表論文九十多篇.論文目錄如下

1 空間電磁環(huán)境監(jiān)測用雙探針式星載電場探測儀 電子與信息學報 2012-10-15

2 基于納米金修飾的兩種無汞型重金屬微傳感器的對比研究 分析化學 2012-12-15

3 SOI微型電場傳感器的設(shè)計與測試 電子與信息學報 2011-11-15

4 基于混合SAMs包裹的納米團簇和SPA的抗體固定方法用于糖化血紅蛋白免疫場效應型傳感器的制備(英文) 納米技術(shù)與精密工程 2011-11-15

5 用于氨氮檢測的薄層氨氣微傳感芯片及其系統(tǒng)研究 分析化學 2012-02-15

6 基于三維納米銀修飾電極的硝酸根微型傳感芯片研究 化學學報 2012-02-14

7 用于氨氮檢測的無透氣膜安培型氨氣微傳感器及系統(tǒng) 納米技術(shù)與精密工程 2012-03-15

8 用于氨氮檢測的三維微納氨氣傳感芯片及系統(tǒng)研究 電子與信息學報 2012-05-15

9 基于L波段氣象雷達的空中三維電場探測系統(tǒng) 電子與信息學報 2012-07-15

10 非接觸式表面電勢測量的MEMS微型靜電壓儀 儀表技術(shù)與傳感器 2009-10-15

11 微型電場傳感器的結(jié)構(gòu)釋放過程中粘連現(xiàn)象的控制方法 儀表技術(shù)與傳感器 2009-10-15

12 基于藍牙的便攜式心電監(jiān)護系統(tǒng)的設(shè)計 科學技術(shù)與工程 2011-06-18

13 基于分子印跡技術(shù)的尿素仿生微傳感器 納米技術(shù)與精密工程 2011-09-15

14 基于微型氨氣敏感單元的氨氮檢測系統(tǒng)研究 儀器儀表學報 2011-09-15

15 基于銅納米簇的硝酸根微傳感器的研究 分析化學 2011-11-15

16 基于Labview的微型電場傳感器自動標定系統(tǒng) 信息與電子工程 2011-10-25

17 基于雙光柵的馬赫-曾德爾干涉儀的初步研制 光學學報 2009-07-15

18 尾跡對衛(wèi)星周圍等離子體擾動特性分析 宇航學報 2010-02-28

19 三維立體結(jié)構(gòu)微納電極研究 分析化學 2010-05-15

20 熱驅(qū)動微型電場傳感器干燥技術(shù) 傳感技術(shù)學報 2010-06-20

21 新型推挽激勵的諧振式微機械靜電場傳感器 納米技術(shù)與精密工程 2010-07-15

22 Si-玻璃陽極鍵合失效機理研究 微納電子技術(shù) 2010-10-15

23 基于CPLD和DSP的不同采樣速率多路數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè) 科學技術(shù)與工程 2009-04-15

24 伸桿對星載電場探測儀的影響研究 電子與信息學報 2009-04-15

25 電化學聚合吡咯摻雜蛋白A固定抗體的安培型沙門氏菌微傳感器 分析化學 2009-04-15

26 光波導耦合的表面等離子體共振光譜傳感器實時監(jiān)測表面生化反應 分析化學 2009-04-15

27 用于水質(zhì)檢測的微傳感器及微系統(tǒng) 微納電子技術(shù) 2009-06-15

28 一種閉環(huán)自激式驅(qū)動的硅微機械電場傳感器 電子與信息學報 2009-11-15

29 圓柱面和球面真空微電子二極管內(nèi)電子渡越時間的計算 真空電子技術(shù) 2009-12-25

30 快速檢測糖化血紅蛋白的免疫微傳感器 納米技術(shù)與精密工程 2010-01-15

31 新型三維電場傳感器原理及試驗結(jié)果 電子器件 2006-02-26

32 平面平行真空微電子二極管中二分之三次方關(guān)系式的應用 真空電子技術(shù) 2006-02-25

33 毛細作用驅(qū)動的MEMS流體自組裝模擬仿真 微納電子技術(shù) 2006-05-15

34 基于微機電系統(tǒng)技術(shù)和納米金自組裝膜的安培型免疫傳感器研究 分析化學 2006-05-30

35 語種確認中基于段長的語言模型修正方法 計算機應用研究 2006-07-01

36 界面張力驅(qū)動的微粒自組裝研究 儀表技術(shù)與傳感器 2006-06-30

37 兩種熱驅(qū)動結(jié)構(gòu)在微型電場傳感器中的應用 半導體學報 2006-09-30

38 一種基于微加工技術(shù)的微型電場傳感器的設(shè)計與制造 電子器件 2006-06-26

39 空中三維電場探測系統(tǒng) 電子器件 2006-06-26

40 基于SOC的有機膜REFETs研究 納米技術(shù)與精密工程 2006-09-30

41 用于免疫微傳感器的CMOS微弱電流讀出電路 電子器件 2006-08-26

42 一種小型三維電場傳感器 儀器儀表學報 2006-11-30

43 基于Ppy敏感膜的pH-ISFET研制 儀器儀表學報 2006-12-30

44 基于導電聚合膜及MEMS技術(shù)的安培免疫傳感器 電子器件 2007-02-28

45 新型的ISFET微傳感器讀出電路單芯片集成研究 電子學報 2007-02-28

46 小型三維電場傳感器設(shè)計與測試 電子與信息學報 2007-04-30

47 MEMS工藝制備pH-ISFET/REFET功能膜研究 電子器件 2007-06-15

48 一種用于MEMS電場傳感器的CMOS可控增益前置放大電路 電子器件 2007-06-15

49 懸浮柵結(jié)構(gòu)ISFET動態(tài)特性的HSPICE仿真 微納電子技術(shù) 2007-08-15

50 低軌道衛(wèi)星表面充電模擬 微納電子技術(shù) 2007-08-15

51 聚合物在pH-ISFET研究中的應用 傳感器與微系統(tǒng) 2007-04-20

52 空中三維電場傳感器及其標定方法研究 微納電子技術(shù) 2007-08-15

53 基于免疫微傳感器的微流體系統(tǒng) 微納電子技術(shù) 2007-08-15

54 新型pH-ISFET芯片系統(tǒng)研究 電子與信息學報 2007-10-15

55 基于GprMax糧庫異物微波探測傳感系統(tǒng)的仿真 河南工業(yè)大學學報(自然科學版) 2008-12-20

56 平滑型耐高溫碳場發(fā)射體SCFE在真空X射線管內(nèi)的試用 液晶與顯示 2008-04-15

57 碳場電子發(fā)射體的應用研究 真空科學與技術(shù)學報 2008-05-15

58 三維電場傳感器仿真優(yōu)化及性能測試 傳感技術(shù)學報 2008-06-15

59 基于電化學共聚蛋白A固定抗體的安培型免疫微傳感器 納米技術(shù)與精密工程 2008-09-15

60 一種用于薄膜熱容測量的微熱量計的設(shè)計與制作 微納電子技術(shù) 2003-08-25

61 基于MEMS技術(shù)的微型電場傳感器設(shè)計與仿真 微納電子技術(shù) 2003-08-25

62 SU-8微針執(zhí)行器的研究 微納電子技術(shù) 2003-08-25

63 基于單片機的電感測量系統(tǒng) 儀表技術(shù)與傳感器 2005-01-25

64 Si_3N_4微尺度薄膜比熱特性測量研究 測控技術(shù) 2004-03-18

65 用于多參數(shù)生化檢測微系統(tǒng)的葡萄糖傳感器的研究 測控技術(shù) 2004-04-18

66 新型旋片式空中電場傳感器及應用 電子與信息學報 2004-04-20

67 基于SOI襯底加工的微型電場傳感器研究(英文) 納米技術(shù)與精密工程 2004-12-30

68 聚酰亞胺振動膜微型電場傳感器 微納電子技術(shù) 2004-12-15

69 固體微/納米尺度傳熱理論研究進展 物理學進展 2004-10-30

70 薄膜熱導率測量結(jié)構(gòu)的研究 儀器儀表學報 2004-12-30

71 新型微電極葡萄糖傳感器 儀器儀表學報 2004-12-30

72 基于SU-8膠的微針執(zhí)行器的研制 儀器儀表學報 2004-12-30

73 體硅加工微電極傳感器研究 2004-12-30

74 基于MEMS的生物微傳感技術(shù) 2005-02-20

76 MEMS中的微組裝技術(shù) 新技術(shù)新工藝 2005-01-25

77 多驅(qū)動電極垂直限幅振動式微型電場傳感器 電子器件 2005-03-26

78 便攜式多參數(shù)生化檢測儀的研制 廣西師范大學學報(自然科學版) 2005-03-25

79 微尺度薄膜熱導率測試技術(shù) 物理學進展 2002-09-20

80 硅尖陣列-敏感薄膜復合型陰極真空微電子壓力傳感器特性的測試 液晶與顯示 2002-02-28

81 多能譜電子束能量分布的蒙特卡羅模擬和空間電荷效應 電子科學學刊 1999-08-15

82 TiNi形狀記憶薄膜的光刻新工藝 儀器儀表學報 2001-12-30

83 全玻璃平板型真空熒光光源的工藝探討 液晶與顯示 2001-12-15

84 平行平面形真空微電子二極管中的二分之三次方關(guān)系式 真空電子技術(shù) 2001-06-30

85 陰極-敏感膜復合型真空微電子壓力傳感器研究 電子與信息學報 2001-01-15

86 陣列場發(fā)射電子源的新進展 電子與信息學報 2001-05-15

87 臺階陣列陰極真空微電子壓力傳感器研究 功能材料與器件學報 1996-09-30

88 新型真空微電子壓力傳感器特性研究和實驗制作 半導體學報 1997-12-08

89 真空微電子器件的進展與問題 電子科學學刊 1997-10-15

90 雙柵極場發(fā)射陣列的特性模擬與設(shè)計 電子科學學刊 1998-02-15

91 掃描電子束曝光機復合物鏡的研究與設(shè)計 電子科學學刊 1991-05-01

92 一種極低場曲復合聚焦偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的設(shè)計 電子學報 1991-01-31