人物簡介
陳蓉,1978年8月出生,博士、教授,博士生導師,中國科學技術大學學士學位、美國斯坦福(Stanford)大學碩士、博士學位。
圍繞原子層沉積、納米顆粒、薄膜等微結構的工藝過程開發(fā)與優(yōu)化,承擔了多項微電子與新能源相關項目的研究,是選擇性原子層沉積技術的先驅者之一。在Advanced Materials等國際知名期刊上發(fā)表論文20余篇(累計影響因子近七十),在相關國際學術會議作報告30余次,主編撰寫“十二 五”重點出版物一部,微納制造領域5項專利申請。
中國硅酸鹽學會薄膜與涂層分會理事、中國機械工程學會會員。美國電氣電子工程學會(IEEE)、材料研究學會(MRS)、電化學學會(ECS)、美國物理學會(APS)、美國化學學會(ACS)會員。半導體研究協(xié)會(SRC) Simon Karecki獎等獲得者,曾擔任美國勞倫斯-伯克利國家實驗室開放基金特邀專家評審組成員,英特爾風險投資部門納米材料及新能源技術顧問及學術基金部門顧問。長期擔任 Applied Physics Letters, Journal of Applied Physics等國際權威期刊的特邀審稿人。
任免信息
2018年,任免陳蓉為政協(xié)湖北省第十二屆委員會委員。
研究方向
微納制造、納米材料生長工藝及設備開發(fā),薄膜制備工藝及應用。
將實驗和理論相結合,研究納米薄膜生長工藝及設備開發(fā),用來解決未來電子和能源工業(yè)所即刻面臨的挑戰(zhàn)。研究的重點在于控制納米材料的生長、結構、及其性能,用于制造和表征具有精確的物質組成、以及原子尺度上可控的納米結構,將其整合成納米器件,并開發(fā)相關高精度生長設備。
科研項目
1. 國家自然科學基金“利用原子層沉積法實現(xiàn)可控組份、大小的納米催化顆粒生長”在研;
2. 英特爾研究院(美國)“納米儲能器件研究 ”在研;
3. 英特爾公司(美國)-Nanochip聯(lián)合團隊“以微機電系統(tǒng)為基礎的超大密度非易失性數(shù)據存儲器中的納米探針頭和鐵電納米薄膜的開發(fā)”已結題;
4. 斯坦福大學全球氣候與能源(GCEP)“無機混合太陽能材料的原子薄膜沉積技術” 已結題;
5. 本田公司(日本)“運用原子薄膜沉積技術制造固態(tài)氧氣燃料電池的催化層”已結題;
6. 美國國家自然科學基金和半導體研究協(xié)會(NSF-SRC)“具有區(qū)域選擇性的原子薄膜沉積技術在高介電常數(shù)場效應管中的應用”已結題;