殷允朋，研究員。

1995年至2002年獲清華大學碩士學位，2007年獲美國麻省理工學院（MIT）化學工程系博士學位。2007年至今在美國IBM公司從事等離子體刻蝕過程的研發(fā)。

主要研究領域包括等離子體設備及技術、半導體芯片集成工藝及微納米尺度結構加工及器件化等方面，在國際期刊上發(fā)表論文9篇，其中第一作者4篇。在國際會議上超過10次大會報告，其中包括兩次大會邀請報告。目前擁有9篇已發(fā)表專利、10篇發(fā)表中專利和近15篇待發(fā)表專利，并已獲得IBM頒發(fā)的三項專利發(fā)明獎。