1966年9月畢業(yè)于北京大學(xué)物理系半導(dǎo)體專業(yè)；1968年7月中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所工作； 1985年9月中國科學(xué)院微電子研究所工作；兼職中國科學(xué)院研究生院教授，中國電子學(xué)會高級會員，北京半導(dǎo)體專業(yè)委員會委員、制版分會主任，全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會副主任委員、微光刻分委會主任委員，全國納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會微納加工技術(shù)工作組副秘書長，光學(xué)微細(xì)加工國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)委員會副主任委員。