1966年9月畢業(yè)于北京大學物理系半導體專業(yè)；1968年7月中國科學院半導體研究所工作； 1985年9月中國科學院微電子研究所工作；兼職中國科學院研究生院教授，中國電子學會高級會員，北京半導體專業(yè)委員會委員、制版分會主任，全國半導體設(shè)備與材料標準化技術(shù)委員會副主任委員、微光刻分委會主任委員，全國納米技術(shù)標準化技術(shù)委員會微納加工技術(shù)工作組副秘書長，光學微細加工國家重點實驗室學術(shù)委員會副主任委員。