基本內(nèi)容
個人信息
景玉鵬，研究員。
| 所屬部門： |
| 微電子設備技術研究室,(八室) |
| 學科類別： |
| 自動化 |
| 研究方向： |
| 二氧化碳,超臨界流體,半導體綠色無水清洗技術,RF-MEMS,MEMS,氣敏傳感器 |
| 擔科研項目情況： |
| 2009年2月，制作完成一臺內(nèi)徑350毫米的二氧化碳超臨界流體工藝平臺，該平臺能進行清洗，HPCVD，高速無等離子體刻蝕和硅片三維加工和納米管內(nèi)部鍍膜技術,是一臺多功能創(chuàng)新型技術設備。 參加國家863重大專項，危化品檢測與跟蹤網(wǎng)絡化系統(tǒng)集成及產(chǎn)業(yè)化應用技術。傳感器電學參數(shù)測試子課題負責人。參與863國家重大專項（01、02），32nm以下設備關鍵技術研究及創(chuàng)新設備技術探索，二氧化碳超臨界流體半導體清洗技術負責人。 |