1996年，任浙江大學(xué)近代光儀研究室主任，晉升副教授，1999年起任浙江大學(xué)光電系副主任，2000晉升教授。從事與集成電路制造和加工有關(guān)的光學(xué)設(shè)備和光學(xué)成像系統(tǒng)以及微光學(xué)方面的研究。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人承擔(dān)過國家自然科學(xué)基金、國防預(yù)研基金、博士點(diǎn)基金和教育部骨干教師基金。同時(shí)作為技術(shù)負(fù)責(zé)人參加了863高技術(shù)項(xiàng)目和國家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目。先后在國內(nèi)外各類期刊上發(fā)表論文20余篇。目前為儀器儀表學(xué)會機(jī)械量測試分會理事，《紅外與激光工程》雜志編委。

1．激光光刻中超分辨現(xiàn)象的研究

2．激光直接寫入系統(tǒng)中的光功率穩(wěn)定控制

3．激光光刻中焦深概念的新探討

4．物鏡像差對分辨率影響的一種測量分析法

5．準(zhǔn)直小孔法自動調(diào)焦在激光直接寫入系統(tǒng)中的應(yīng)用

6．光柵衍射效率的二階標(biāo)量近似法研究

7．衍射光學(xué)元件衍射效率影響混合光學(xué)系統(tǒng)性能的一種分析方法

8．Research on Laser Direct Writing System and its Lithography Properties

9．聲光調(diào)制器在激光直寫系統(tǒng)光功率控制技術(shù)中的應(yīng)用

10. 像散法高精度離焦檢測系統(tǒng)研究

11. 紅外折射－衍射混合光學(xué)系統(tǒng)的熱差分析

12. 0.1mm大行程精密定位控制系統(tǒng)

13. 復(fù)雜工況下光學(xué)元件變形及應(yīng)力有限元研究

14. 共焦檢測法在高精度自動調(diào)焦閉環(huán)控制中的應(yīng)用 光學(xué)學(xué)報(bào)儀器儀表學(xué)報(bào)