社會(huì)任職
學(xué)習(xí)經(jīng)歷:1996年—2000年,四川大學(xué),學(xué)士 機(jī)械制造及其自動(dòng)化2001年—2004年,中科院光電技術(shù)研究所,碩士, 光學(xué)工程2004年—2007年,中科院光電技術(shù)研究所,博士, 信號(hào)與信息處理 工作經(jīng)歷: 自2000年7月起,一直在“中科院光電所微電子裝備研究室”工作,從事光刻設(shè)備及相關(guān)關(guān)鍵單元技術(shù)研究。
獲獎(jiǎng)及榮譽(yù)
在微電子光刻裝備領(lǐng)域開(kāi)展多年研究,對(duì)微電子裝備相關(guān)理論有較為深刻的理解,發(fā)表科技論文29篇(SCI6篇)、申請(qǐng)專(zhuān)利29項(xiàng)(授權(quán)15項(xiàng));曾獲四川省科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)和三等獎(jiǎng)各一項(xiàng);2011年入選首屆“中國(guó)科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會(huì)”;2010年入選西部之光人才計(jì)劃—“聯(lián)合學(xué)者”;2009年獲光電所創(chuàng)新人才獎(jiǎng),2007年獲中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng);組織編寫(xiě)了生物芯片檢測(cè)儀器醫(yī)療器械標(biāo)準(zhǔn),獲得生物芯片檢測(cè)系統(tǒng)分析軟件版權(quán)2項(xiàng)。
承擔(dān)科研項(xiàng)目情況
目前在國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)工程項(xiàng)目中的重點(diǎn)工程中擔(dān)任主任設(shè)計(jì)師、儀器專(zhuān)項(xiàng)工程項(xiàng)目主任設(shè)計(jì)師,正在開(kāi)展整機(jī)測(cè)控系統(tǒng)的研制工作。
參加完成中科院知識(shí)創(chuàng)新工程交叉學(xué)科重大方向性項(xiàng)目—生物芯片儀器研制工作;主持開(kāi)展自然科學(xué)基金項(xiàng)目“適用于雙工件臺(tái)光刻機(jī)的高精度離焦量解耦算法研究”,參與完成了863“實(shí)現(xiàn)納米分辨力的新型紫外光刻機(jī)研制”任務(wù)、863“基于DMD的步進(jìn)投影數(shù)字光刻系統(tǒng)”研制任務(wù)、自然科學(xué)基金“納米光柵掩模提高分辨力的原理和方法研究”;主持了西部之光“精密步進(jìn)式無(wú)掩模數(shù)字曝光裝置”、“便攜式生物芯片檢測(cè)系統(tǒng)”、“紫外固化原位光刻機(jī)”、“紫外深度曝光系統(tǒng)”、“URE-2000S/A雙面光刻機(jī)”等項(xiàng)目的研制工作。
培養(yǎng)研究生信息:在讀碩士研究生3名