人物簡介
樊中朝,博士,副研究員,碩士生導師。1998年于河北師范學院物理系獲物理教育專業(yè)理學學士學位。2001年于北方交通大學光電子技術(shù)研究所獲凝聚態(tài)物理專業(yè)理學碩士學位。 2004年于中國科學院半導體研究所獲微電子學與固體電子學專業(yè)工學博士學位, 期間主要從事硅基光波導器件設(shè)計及制備工藝方面的研究,作為主要參與者,參與完成973、863和國家自然科學基金重大項目各一項。同年7月進入中科院半導體所集成技術(shù)工程研究中心工作。在國內(nèi)外核心期刊上發(fā)表和合作發(fā)表論文20余篇,已獲授權(quán)專利4項。目前主要從事亞波長表面等離子體金屬波導器件及其與SOI波導器件集成方面的研究,還從事多種材料ICP刻蝕機理及其在各種光電子、MEMS器件中的應(yīng)用研究。
完成項目
1.國家自然科學基金:亞波長表面等離子體激元金屬波導與SOI波導集成研究, 負責人。
2.自然基金重點項目:硅基微納光子器件及集成,子課題負責人。
3.中國科學院儀器功能開發(fā)項目:ICP-RIE刻蝕設(shè)備改造,負責人。
4.北京市科技計劃項目:藍寶石圖形襯底關(guān)鍵工藝技術(shù)研究,負責人。
5.北京市科技計劃項目:功率器件用硅基GaN外延片研究,技術(shù)骨干。
6.863項目:用于400Gb/s相干光通信系統(tǒng)的DP-16QAM光調(diào)制器模塊,參與。
7.中科院青年人才項目:青年創(chuàng)新促進會課題,負責人。
8.國家自然科學基金:SOI襯底上單電子晶體管的研制,參與。
9.973項目:寬帶光纖與無線信息網(wǎng)絡(luò)中的光子集成與微納光電集成基礎(chǔ)研究, 技術(shù)骨干。
10.973項目:硅基微納光波導傳輸與單片光電集成技術(shù),骨干
11.863重點項目:高效氮化物LED材料及芯片關(guān)鍵技術(shù),骨干。
12.北京市科技計劃項目:藍寶石圖形襯底驗證及應(yīng)用技術(shù),技術(shù)骨干