基本內(nèi)容
左玉華,博士,副研究員,碩士生導師。1997年、2000年分獲清華大學材料科學與工程系學士及碩士學位,2003年獲中國科學院半導體所微電子學與固體電子學博士學位,師從王啟明院士。同年9月進入中國科學院半導體所集成光電子學國家重點實驗室工作,從事Si基光電子材料與器件的研究。在Si基光電子器件方面,實現(xiàn)了寬頻域調(diào)諧的MEMS可調(diào)諧濾波器和熱光可調(diào)諧平頂濾波器,并初步用于新型非致冷紅外探測器;研制成功具有高速、高線性和高響應的消逝場耦合的水平波導光電探測器以及Si基鍵合型高速、高飽和輸出的共振腔增強型光電探測器;在Si基新材料研究方面,利用UHV/CVD設備,通過低溫亞穩(wěn)態(tài)生長,制備出界面平整清晰的厚層Si0.75Ge0.25/Si/Si0.5Ge0.5超晶格,并首次采用保偏光纖Mach-Zehnder干涉儀對該材料的電光系數(shù)進行了直接測量,在1.55微米處的電光系數(shù)約0.24pm/V,僅比GaAs體材料小一倍,驗證了電光改性的效果,同時實現(xiàn)了直接電光效應的器件驗證。作為項目負責人和主要完成人承擔和完成了自然科學基金和973等項目。發(fā)表SCI和EI收錄論文50余篇,獲得授權(quán)專利5項。目前作為課題負責人承擔多項國家任務。