主要從事
主要從事光通信器件,光互連、光傳感用光子集成芯片的研究,近年來(lái)共發(fā)表SCI收錄論文80余篇,被引用1500余次(Google Scholar),并獲已授權(quán)國(guó)家發(fā)明專利8項(xiàng)。2011年入選浙江大學(xué)首批求是青年學(xué)者。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人先后主持國(guó)家、省部級(jí)等項(xiàng)目10余項(xiàng)(含國(guó)家自然科學(xué)基金3項(xiàng))。
工作研究領(lǐng)域
光通信器件;光互連、光傳感用光子集成芯片;高精度的半導(dǎo)體微納加工技術(shù)、包括電子束曝光、干法刻蝕等; |