1994、1996、1999年分別在哈爾濱工程大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、浙江大學(xué)獲得工學(xué)學(xué)士、碩士、博士學(xué)位，2000-2002年在新加坡Nanyang Technological University從事博士后研究，2002-2003年在新加坡DSO National Laboratories擔任Research Scientist，2003 -2005年在日本東北大學(xué)擔任日本學(xué)術(shù)振興會（JSPS）外國人特別研究員，2005-2007年擔任該校助理教授，2007年回國工作并晉升為浙江大學(xué)機械工程學(xué)院教授、博士生導(dǎo)師，2009-2014年擔任流體動力與機電系統(tǒng)國家重點實驗室副主任，2015年浙江大學(xué)求是特聘教授。長期從事精密機電系統(tǒng)、超精密加工及測量技術(shù)等方面的研究。

研究領(lǐng)域包括：1、精密、超精密測量技術(shù)； 2、超精密加工技術(shù)；3、檢測、控制與信號處理；4、微納器件與系統(tǒng)集成技術(shù)等。

作為負責人主持973項目課題1項，863項目2項，國家杰出青年科學(xué)基金項目1項，國家自然科學(xué)基金“納米制造基礎(chǔ)研究”重大研究計劃項目1項、基金面上項目4項，浙江省杰出青年基金1項以及其他省部級項目10余項。作為第一獲獎人獲得中國機械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎一等獎1項（2013）、教育部技術(shù)發(fā)明獎二等獎1項（2014），德國洪堡獎學(xué)金獲得者（2003）、日本學(xué)術(shù)振興會獎學(xué)金獲得者（2003）。2011年入選教育部“新世紀優(yōu)秀人才”支持計劃，2014年國家杰出青年科學(xué)基金獲得者。共發(fā)表論文120余篇，其中SCI檢索國際期刊論文55篇、EI收錄論文80余篇，獲得授權(quán)國家發(fā)明專利15件、日本發(fā)明專利1件。

國家自然基金評審專家、863項目評審專家、科技部國際合作科技計劃評審專家、教育部博士點基金評審專家、瑞士Branco Weiss 基金會國際評審專家等，是Review of Scientific Instruments，Journal of Applied Physics等10多個國際期刊的專題評審專家。第8屆流體傳動及控制國際會議（ICFP）秘書長、第6屆國際自動控制聯(lián)合會（IFAC）機電系統(tǒng)國際會議秘書長。國際光學(xué)工程學(xué)會（SPIE）會員、中國機械工程學(xué)會高級會員、生產(chǎn)分會委員、中國儀器儀表學(xué)會精密機械學(xué)會首屆青年工作委員會委員等。