1994、1996、1999年分別在哈爾濱工程大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、浙江大學(xué)獲得工學(xué)學(xué)士、碩士、博士學(xué)位，2000-2002年在新加坡Nanyang Technological University從事博士后研究，2002-2003年在新加坡DSO National Laboratories擔(dān)任Research Scientist，2003 -2005年在日本東北大學(xué)擔(dān)任日本學(xué)術(shù)振興會(huì)（JSPS）外國人特別研究員，2005-2007年擔(dān)任該校助理教授，2007年回國工作并晉升為浙江大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院教授、博士生導(dǎo)師，2009-2014年擔(dān)任流體動(dòng)力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任，2015年浙江大學(xué)求是特聘教授。長期從事精密機(jī)電系統(tǒng)、超精密加工及測(cè)量技術(shù)等方面的研究。

研究領(lǐng)域包括：1、精密、超精密測(cè)量技術(shù)； 2、超精密加工技術(shù)；3、檢測(cè)、控制與信號(hào)處理；4、微納器件與系統(tǒng)集成技術(shù)等。

作為負(fù)責(zé)人主持973項(xiàng)目課題1項(xiàng)，863項(xiàng)目2項(xiàng)，國家杰出青年科學(xué)基金項(xiàng)目1項(xiàng)，國家自然科學(xué)基金“納米制造基礎(chǔ)研究”重大研究計(jì)劃項(xiàng)目1項(xiàng)、基金面上項(xiàng)目4項(xiàng)，浙江省杰出青年基金1項(xiàng)以及其他省部級(jí)項(xiàng)目10余項(xiàng)。作為第一獲獎(jiǎng)人獲得中國機(jī)械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)1項(xiàng)（2013）、教育部技術(shù)發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)1項(xiàng)（2014），德國洪堡獎(jiǎng)學(xué)金獲得者（2003）、日本學(xué)術(shù)振興會(huì)獎(jiǎng)學(xué)金獲得者（2003）。2011年入選教育部“新世紀(jì)優(yōu)秀人才”支持計(jì)劃，2014年國家杰出青年科學(xué)基金獲得者。共發(fā)表論文120余篇，其中SCI檢索國際期刊論文55篇、EI收錄論文80余篇，獲得授權(quán)國家發(fā)明專利15件、日本發(fā)明專利1件。

國家自然基金評(píng)審專家、863項(xiàng)目評(píng)審專家、科技部國際合作科技計(jì)劃評(píng)審專家、教育部博士點(diǎn)基金評(píng)審專家、瑞士Branco Weiss 基金會(huì)國際評(píng)審專家等，是Review of Scientific Instruments，Journal of Applied Physics等10多個(gè)國際期刊的專題評(píng)審專家。第8屆流體傳動(dòng)及控制國際會(huì)議（ICFP）秘書長、第6屆國際自動(dòng)控制聯(lián)合會(huì)（IFAC）機(jī)電系統(tǒng)國際會(huì)議秘書長。國際光學(xué)工程學(xué)會(huì)（SPIE）會(huì)員、中國機(jī)械工程學(xué)會(huì)高級(jí)會(huì)員、生產(chǎn)分會(huì)委員、中國儀器儀表學(xué)會(huì)精密機(jī)械學(xué)會(huì)首屆青年工作委員會(huì)委員等。