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  • 康仁科

    康仁科

    康仁科,男,現(xiàn)為大連理工大學機械工程學院教授、博導,大連理工大學機械工程學院現(xiàn)代制造技術研究所所長。

    基本經(jīng)歷

      1984年7月于西北工業(yè)大學飛行器制造工程系機制工藝及設備專業(yè)獲學士學位;   1987年3月于西北工業(yè)大學機械制造專業(yè)獲碩士學位;   1999年6月于西北工業(yè)大學航空宇航制造工程專業(yè)獲博士學位。   1987年4月任助教,1990年4月任講師,1993年3月破格晉升副教授,1999年12月晉升教授,2001年3月聘為博士生導師。   2002.03- 大連理工大學機械工程學院教授、博導。   2004.03- 大連理工大學機械工程學院現(xiàn)代制造技術研究所 所長。

    社會兼職

      中國機械工程學會高級會員   中國機械工程學會生產(chǎn)工程分會磨削專業(yè)委員會副主任   中國機械工程學會生產(chǎn)工程分會切削專業(yè)委員會委員   《金剛石與磨料磨具工程》編委

    研究領域

      國家自然科學基金項目“超薄硬脆晶體基片的耦合能量軟磨機理與關鍵技術研究”2007.1-2009.12,負責人   國家自然科學基金項目“大尺寸單晶MgO高溫超導基片高效超精密加工技術”2005.1-2007.12,負責人   國家自然科學基金重大項目“先進電子制造技術中的重要科學問題”的子課題,超精拋光中的納米粒子行為和化學作用及平整化原理與技術(50396001),2003.1-2006.12,主要參加。   國家杰出青年基金,精密與超精密加工技術,2004-2006,主要參加。   國家自然科學基金重點項目,各向異性軟脆功能晶體高效超精密加工理論和技術,2005~2008,主要參加。   國家973計劃項目:“數(shù)字化制造技術基礎——課題四:高性能復雜曲面數(shù)字化精密加工的新原理和新方法”,2006.1-2009.12,主要參加。   國家863計劃項目,面向下一代IC的大直徑硅片超精密磨削技術與裝備研究(2002AA421230),2003.1-2004.12,負責人。   教育部科技研究重點項目,氧化鎂高溫超導基片的摩擦化學拋光機理與技術(105053),2005-2006,負責人。   遼寧省科學計劃項目,大尺寸單晶氧化鎂基片超精密加工技術與裝備,2005-2006,負責人。   遼寧省自然科學基金,電鍍金剛石線鋸高效精密切割硅晶體技術的研究(2051125),2006-2008   大連市科學基金項目,集成電路制造中大直徑硅片的高精度夾持系統(tǒng)研究,2003.1~2004.12,負責人。   總裝備部十一五預研重點項目,透波材料導引頭天線罩精密磨削及檢測技術,2006.8-2010.8,主要參加。   航空一集團合同項目,天線罩數(shù)控專用磨床,2004.9~2005.9,負責人之一。   航空一集團合同項目,天線罩幾何參數(shù)測量儀,2006.2~2006.10,負責人。   航空一集團合同項目,橋式五坐標高速數(shù)控龍門銑床加工能力測試及航空鋁合金高速銑削試驗,2004-2005,目負責人。   航空一集團合同項目,航空鈦合金結構件數(shù)控銑削工藝試驗,2004-2005,主要參加。   航天科技集團合同項目,回轉體套筒錐度在位測量系統(tǒng),2005-2006,主要參加。   航天科技集團合同項目,加工復合材料構件的高速磨頭研制,2004.5-2004.10,負責人。   武器裝備預研基金項目,透波復合材料構件介電性能在線檢測與修磨技術方案研究,2004.10-2006.10,負責人。   航天“十五”預研項目,天線罩電厚度精密測試與修磨技術,2002.11-2004.6,主要參加。   航天科工集團項目,天線罩強度測試技術,2002.11-2003.12,負責人。   國家863計劃項目,大型復雜形面硬脆材料工件精密測試和磨削技術,2001.10-2003.12,主要參加。   航天科工集團重點攻關項目,硬脆材料復雜型面天線罩精密修磨和測試技術研究,1998.9-2002.12,主要參加。   航空基金項目,高溫結構陶瓷激光輔助高效超精密磨削技術研究,96.10~99.10,負責人。   航空基金項目,300M超高強度鋼磨削燒傷和裂紋及其渦流檢測技術,92.10~95.12,負責人。   合同項目,印刷線路板微鉆的釬焊技術與設備研究,2000.6~2001.12,負責人   航空預研項目,發(fā)動機葉片復雜型面數(shù)控磨削技術研究,2000.1~2001.12   航空預研項目,CBN砂輪在磨削高溫合金中的應用,95.1~97.1,負責人   航空基金項目,加工表面完整性對高溫合金使用壽命影響的研究,96.10~98.10,主要參加。   國家基金項目,光學玻璃光滑表面精密拋光機理及關鍵技術的研究,93.10~95.10,主要參加。   航空基金項目,300M超高強度鋼精密加工技術研究,1992.1~1993.12,主要參加。

    指導方向

      指導碩、博士生研究方向   超精密加工與特種加工技術   難加工材料高效加工技術   半導體制造技術與設備   計算機輔助設計、制造與測試

    出版專著

      《難加工材料的磨削》,北京:國防工業(yè)出版社,1999.2   《先進制造技術導論》,北京:科學出版社,2004.4

    學術論文

      K. Wang, R.K. Kang, Z.J. Jin, and N.H. Wang,An Experimental Study of the Polishing Process for MgO Single Crystal Substrate,Key Engineering Materials Vol. 329 (2007) pp. 225-230   F.W. Huo, Z.J. Jin, F.L. Zhao, R.K. Kang, D.M. Guo,Experimental Investigation of Brittle to Ductile Transition of Single Crystal Silicon by Single Grain Grinding,Key Engineering Materials Vol. 329 (2007) pp. 433-438   Yuhui Sun, Renke Kang and Dongming Guo,Modeling of Back Pressure Distribution on the Wafer Loaded in a Multi-zone Carrier in Chemical Mechanical Polishing,Materials Science Forum Vols. 532-533 (2006) pp. 233-236   R.K.Kang,Y.X. Zhang,D.M. Guo,Z.J. Jin,Study on the surface and subsurface integrity of ground monocrystalline silicon wafers,Key Engineering Materials,Vol.291-292(2005),pp.425-432,SCI檢索   Y.X.Zhang,R.K.Kang,D.M.Guo,Z.J.Jin,Raman microspectroscopy study on the ground surface of monocrystalline silicon wafers,Key Engineering Materials,Vol.304-305(2005),pp.241-245   X.G.Guo,D.M.Guo,R.K.Kang,Z.J.Jin, Molecular dynamics analyze on effects of abrasive size and cut depth on the monocrystal silicon grinding,Key Engineering Materials,Vol.304-305(2005),pp.350-354   X.J.Li,D.M.Guo,R.K.Kang,Z.J.Jin,Resarch on effects of slurry additives in cu CMP for ULSI manufacturing,Key Engineering Materials,Vol.304-305(2005),pp.286-289   X.Y.Wang,Y.B.Wu,R.K.Kang,Energy-mode adjustment in laser processing a small vitrified CBN grinding wheel,Key Engineering Materials,Vol.291-292(2005),pp.177-182,SCI檢索   H.Gao,R.K.Kang,D.M.Guo,J.Li,Development of grinding temperature measuring system considering compensation of thermocouple dynamic responding error,Key Engineering Materials,Vol.304-305(2005),pp.127-130   Y.B. Tian, R.K. Kang, D.M. Guo, Z.J. Jin1, and J.X. Su. Investigation on Material Removal Rate in Rotation Grinding for Large-scale Silicon Wafer, Materials Science Forum Vols. 471-472 (2004) pp. 362-368,SCI,EI檢索   J.X. Su, D.M. Guo1, R.K. Kang, Z.J. Jin, X.J. Li and Y.B. Tian. Modeling and Analyzing on Nonuniformity of Material Removal in Chemical Mechanical Polishing of Silicon Wafer, Materials Science Forum Vols. 471-472 (2004) pp. 26-31,SCI,EI檢索   Su, J.; Kang, R.; Guo, D.; Jin, Z.; Li, X. Comparison of motion forms between rotational and linear type of CMP machine, ICMA 2004 - Proceedings of the International Conference on Manufacturing Automation: Advanced Design and Manufacturing in Global Competition, 2004, p 667-673 EI,ISTP檢索   Kang Renke,Guo Xiaoguang,Guo Dongming,Jin Zhuji,A Study of the Molecular Dynamics Simulation in nanometric machining, Key Engineering Materials, 2003,Vols.259~260,SCI、ISTP檢索 in nanometric grinding, Key Engineering Materials, 2003,Vols.257~258,EI檢索   D. M. Guo, M. J. Liu, R. K. Kang. A practical method for improving the pointing accuracy of the antenna-radome system, Key Engineering Materials, 2003,Vols.257~258,EI檢索   蘇建修,郭東明,康仁科,金洙吉,李秀娟,ULSI制造中硅片化學機械拋光的運動機理,半導體學報,2005,Vol.26,No.3,pp606-612,EI 05179069746   田業(yè)冰,金洙吉,康仁科,郭東明,硅片自旋轉磨削的運動幾何學分析,中國機械工程, 2005,Vol.16,No.20,pp1799-1801,EI 05489513595   蘇建修,郭東明,康仁科,金洙吉,李秀娟,硅片化學機械拋光時運動形式對片內(nèi)非均勻性的影響分析,中國機械工程,2005,Vol.16,No.9,pp815-818,EI 05239148459   田業(yè)冰,郭東明,康仁科,金洙吉,大尺寸硅片自旋轉磨削的試驗研究,金剛石與磨料磨具工程,2004,Vol.6,No.4,EI 04458452571   郭東明 康仁科 蘇建修 金洙吉. 超大規(guī)模集成電路制造中硅片平坦化技術的未來發(fā)展, 機械工程學報,2003,Vol.39,No.10,EI 04188147636   康仁科 田業(yè)冰 郭東明 金洙吉. 大直徑硅片超精密磨削技術的研究與應用現(xiàn)狀, 金剛石與磨料磨具工程,Vol.136,No.4,2003,EI 03437696696   康仁科 郭東明 霍風偉 金洙吉. 大尺寸硅片背面磨削技術的應用與發(fā)展, 半導體技術,Vol.28,No.9,2003   蘇建修 康仁科 郭東明. 超大規(guī)模集成電路制造中硅片化學機械拋光技術分析, 半導體技術,Vol.29,No.10,2003   斯琴,康仁科. CAD/CAM技術在醫(yī)療康復中的應用, 組合機床與自動化技術, 2004,362(4)   郭東明,康仁科,金洙吉.大尺寸硅片的高效超精密加工技術,中國機械工程學會2002年年會論文集,機械工業(yè)出版社,2002.12   Kang Renke, Yuan Jingtin, Zhang yunpeng. Truing of diamond wheels by laser. Key Engineering Materials,Vol.202`203,2001.SCI和EI檢索   康仁科,原京庭,任敬心,藍 潔.超硬磨料砂輪的激光修銳技術研究,中國機械工程,No.1,2000   康仁科,史興寬,藍潔,任敬心. 激光修整金剛石砂輪的試驗研究,西北工業(yè)大學學報, 1999,17(4):624~628,EI檢索

    獲得獎勵

      [1]“磨削鈦合金用陶瓷結合劑CBN復合砂輪及高效磨削油”1991年獲航空工業(yè)總公司科技進步二等獎,國家發(fā)明獎三等獎。   [2]“陶瓷結合劑CBN復合砂輪及高效磨削液”年獲國家教委科技進步二等獎。   [3]“300M超高強度鋼磨削加工表面完整性的研究”年獲航空工業(yè)總公司科技進步三獎,航空基礎科學基金理論成果一等獎。   [4]“釓鎵石榴石和光學基片超精密加工”年獲航空工業(yè)總公司科技進步二等獎。   [5]“鈦合金磨削加工性的改善”年獲陜西省教委科技進步三等獎。

    專利情況

    實用新型專利   一種傳輸機器人,ZL200420113013.1,第一成果人 發(fā)明專利   發(fā)明專利,天線罩充壓試驗方法與設備,(200310102067.8),第一成果人   發(fā)明專利,導彈天線罩電厚度精密測量機,(200310102069.7),第三成果人   發(fā)明專利,導彈天線罩粘接設備,(200310102068.2),第五成果人

    康仁科

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