人物介紹
林本堅(jiān)，1942年出生于越南，美國(guó)俄亥俄州立大學(xué)電機(jī)博士。2008年當(dāng)選美國(guó)國(guó)家工程學(xué)院院士，2014年成為第一位出身業(yè)界的臺(tái)灣“中央研究院”院士。
主要經(jīng)歷
曾擔(dān)任臺(tái)灣積體電路制造公司（以下簡(jiǎn)稱臺(tái)積電）研發(fā)副總經(jīng)理一職，還是美國(guó)電氣與電子工程學(xué)會(huì)會(huì)士（IEEE Fellow），國(guó)際光學(xué)工程學(xué)會(huì)會(huì)士（SPIE Fellow）和臺(tái)灣工業(yè)技術(shù)研究院院士。
林本堅(jiān)是臺(tái)積電的傳奇人物，專注于半導(dǎo)體制程中的微影技術(shù)的研發(fā)。2002年，他研究出以水作為介質(zhì)的193納米浸潤(rùn)式微影技術(shù)（Immersion Lithography），改變了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以干式微影作為主流的傳統(tǒng)。他本人也因此成為臺(tái)灣“中央研究院”第一位產(chǎn)業(yè)界出身的院士。193納米浸潤(rùn)式微影技術(shù)讓摩爾定律得以延續(xù)，也協(xié)助臺(tái)積電躍進(jìn)三個(gè)世代，取得產(chǎn)業(yè)上的優(yōu)勢(shì)地位。
在臺(tái)灣大學(xué)電機(jī)系就讀期間，林本堅(jiān)因一本以天線為主題的課本興起了海外求學(xué)的念頭，前往美國(guó)俄亥俄州立大學(xué)攻讀博士。他曾向媒體分享過(guò)他的留學(xué)經(jīng)歷。他笑說(shuō)不只高手云集，課業(yè)也重�！爱�(dāng)時(shí)教我物理的是楊振寧的弟弟，要求很嚴(yán)格。過(guò)去在臺(tái)大我從沒(méi)開(kāi)過(guò)夜車，沒(méi)想到在那邊要開(kāi)夜車趕作業(yè)”。 他還是一個(gè)攝影愛(ài)好者，曾給柯達(dá)寫(xiě)過(guò)求職信，沒(méi)想到杳無(wú)回音。博士畢業(yè)后，他順利進(jìn)入IBM。22年后，他從IBM退休。他曾試圖用自己的技術(shù)創(chuàng)業(yè)，成立了領(lǐng)創(chuàng)公司（Linnovation, Inc.），但發(fā)現(xiàn)創(chuàng)業(yè)不易。2000年，在臺(tái)積電副總蔣尚義的邀請(qǐng)下，林本堅(jiān)加入了臺(tái)積電并負(fù)責(zé)微影研發(fā)。
主要成就
他還是一個(gè)攝影愛(ài)好者，曾給柯達(dá)寫(xiě)過(guò)求職信，沒(méi)想到杳無(wú)回音。博士畢業(yè)后，他順利進(jìn)入IBM。22年后，他從IBM退休。他曾試圖用自己的技術(shù)創(chuàng)業(yè)，成立了領(lǐng)創(chuàng)公司（Linnovation, Inc.），但發(fā)現(xiàn)創(chuàng)業(yè)不易。2000年，在臺(tái)積電副總蔣尚義的邀請(qǐng)下，林本堅(jiān)加入了臺(tái)積電并負(fù)責(zé)微影研發(fā)。
彼時(shí)，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正面臨瓶頸，業(yè)界苦思如何在90納米尺寸下發(fā)展顯影技術(shù)。林本堅(jiān)也在思考這個(gè)問(wèn)題。兩年后，他研究出以水作為介質(zhì)的193納米浸潤(rùn)式微影技術(shù)。這個(gè)研究成果于2002年首次發(fā)表在美國(guó)一場(chǎng)以157納米波長(zhǎng)為主題的研討會(huì)上。此后兩年，世界著名曝光機(jī)廠商尼康和艾斯摩爾陸續(xù)開(kāi)始跟進(jìn)193納米浸潤(rùn)式微影機(jī)臺(tái)的開(kāi)發(fā)。這項(xiàng)技術(shù)也讓臺(tái)積電引領(lǐng)新技術(shù)，取得業(yè)界領(lǐng)先地位。
榮譽(yù)記錄
2018年9月8日，第三屆“未來(lái)科學(xué)大獎(jiǎng)”在北京揭曉，林本堅(jiān)榮獲三項(xiàng)大獎(jiǎng)之一“數(shù)學(xué)與計(jì)算機(jī)科學(xué)獎(jiǎng)”。