1989.9-1994.7 清華大學精密儀器與機械學系精密儀器儀表專業(yè) 工學學士

1994.9-1999.4清華大學精密儀器與機械學系精密儀器及機械專業(yè) 工學博士、工學碩士

1995年8月~1997年7月 清華精儀系 助教（本科生輔導員）

1998年9月~2001年8月 清華精儀系 講師

2001年8月~2010年12月 清華精儀系 副研究員

2007年1月~2008年9月德國柏林工業(yè)大學 訪問學者

2010年12月~ 清華精儀系 研究員

1）分析儀器

2）基于MEMS的精密分析技術及儀器

3）研究微型飛行器及其關鍵技術

基于MEMS的載體測控系統(tǒng)及其關鍵技術研究 國家科學技術發(fā)明獎 二等 2005年11月（排名第4）

基于MEMS的載體測控系統(tǒng)及其關鍵技術研究 教育部提名國家科學技術獎 一等 2005年1月（排名第4）

新型微流體器件、結構加工和相關應用研究 教育部提名國家科學技術獎 一等 2004年2月（排名第3）

微小型泵及其制造測試技術研究 國家科學技術發(fā)明獎 四等 1999年（排名第6）

從2001年（任副研究員）至今發(fā)表論文總數(shù) 104 篇，其中第一、二作者及通訊作者54篇。

發(fā)表著作（含教材） 4 部，其中第一作者 4 部。

獎勵、專利項：

一種標準化酶電極 發(fā)明專利 2005年6月8日 第一

手機游戲的互動信息感知方法及嵌入手機的智能游戲平臺 發(fā)明專利 2007年3月7日 第一

能夠感應手掌動作的掌上智能游戲機 發(fā)明專利 2007年12月19日 第一

便攜式全自動血液分析儀 發(fā)明專利 2006年8月30日 第二

一種微型飛行器 發(fā)明專利 2007年6月20日 第二

一種長焦距大視場無活動部件的微型目標探測系統(tǒng) 發(fā)明專利 2006年8月2日 第二

Micro Azimuth-level Detector based on Microelectromechanical Systems and a Method for Determination of Attitude 美國專利 2004.11.2 第三

生物醫(yī)學無痛采血微針芯片及其制備方法 發(fā)明專利 2007年5月23日 第三

一種用于飛行器的自動駕駛儀 發(fā)明專利 2007年12月19日 第三

一種用于微型飛行器的微型低速空速計 發(fā)明專利 2007年12月19日 第三

微型飛行器機載微型高度計 發(fā)明專利 2008年9月10日 第三

一種載體姿態(tài)測量方法及其系統(tǒng) 發(fā)明專利 2008年7月23日 第四

微型膠體推進器及其制作方法 發(fā)明專利 2005年1月19日 第四

一種微納結構的慣性傳感器本體及其制作方法 發(fā)明專利 2009年7月29日 第四

集成光柵干涉微機械加速度傳感器及其制作方法 發(fā)明專利 2010年5月19日 第四

中國微米納米技術學會理事、常務副秘書長，中國儀器儀表學會微納器件與系統(tǒng)分會常務理事、秘書長，中國機械工程學會微納制造技術分會理事、副總干事，中國高等教育學會儀器與測控技術專業(yè)委員會委員。國家自然科學基金、航天基金、航空基金、863等評審專家，Sensors Journal、Advanced Materials Research特約編委，《光學精密工程》編委，若干國外著名期刊、國內核心期刊審稿人。