1989.9-1994.7 清華大學(xué)精密儀器與機(jī)械學(xué)系精密儀器儀表專業(yè) 工學(xué)學(xué)士

1994.9-1999.4清華大學(xué)精密儀器與機(jī)械學(xué)系精密儀器及機(jī)械專業(yè) 工學(xué)博士、工學(xué)碩士

1995年8月~1997年7月 清華精儀系 助教（本科生輔導(dǎo)員）

1998年9月~2001年8月 清華精儀系 講師

2001年8月~2010年12月 清華精儀系 副研究員

2007年1月~2008年9月德國柏林工業(yè)大學(xué) 訪問學(xué)者

2010年12月~ 清華精儀系 研究員

1）分析儀器

2）基于MEMS的精密分析技術(shù)及儀器

3）研究微型飛行器及其關(guān)鍵技術(shù)

基于MEMS的載體測控系統(tǒng)及其關(guān)鍵技術(shù)研究 國家科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎 二等 2005年11月（排名第4）

基于MEMS的載體測控系統(tǒng)及其關(guān)鍵技術(shù)研究 教育部提名國家科學(xué)技術(shù)獎 一等 2005年1月（排名第4）

新型微流體器件、結(jié)構(gòu)加工和相關(guān)應(yīng)用研究 教育部提名國家科學(xué)技術(shù)獎 一等 2004年2月（排名第3）

微小型泵及其制造測試技術(shù)研究 國家科學(xué)技術(shù)發(fā)明獎 四等 1999年（排名第6）

從2001年（任副研究員）至今發(fā)表論文總數(shù) 104 篇，其中第一、二作者及通訊作者54篇。

發(fā)表著作（含教材） 4 部，其中第一作者 4 部。

獎勵、專利項：

一種標(biāo)準(zhǔn)化酶電極 發(fā)明專利 2005年6月8日 第一

手機(jī)游戲的互動信息感知方法及嵌入手機(jī)的智能游戲平臺 發(fā)明專利 2007年3月7日 第一

能夠感應(yīng)手掌動作的掌上智能游戲機(jī) 發(fā)明專利 2007年12月19日 第一

便攜式全自動血液分析儀 發(fā)明專利 2006年8月30日 第二

一種微型飛行器 發(fā)明專利 2007年6月20日 第二

一種長焦距大視場無活動部件的微型目標(biāo)探測系統(tǒng) 發(fā)明專利 2006年8月2日 第二

Micro Azimuth-level Detector based on Microelectromechanical Systems and a Method for Determination of Attitude 美國專利 2004.11.2 第三

生物醫(yī)學(xué)無痛采血微針芯片及其制備方法 發(fā)明專利 2007年5月23日 第三

一種用于飛行器的自動駕駛儀 發(fā)明專利 2007年12月19日 第三

一種用于微型飛行器的微型低速空速計 發(fā)明專利 2007年12月19日 第三

微型飛行器機(jī)載微型高度計 發(fā)明專利 2008年9月10日 第三

一種載體姿態(tài)測量方法及其系統(tǒng) 發(fā)明專利 2008年7月23日 第四

微型膠體推進(jìn)器及其制作方法 發(fā)明專利 2005年1月19日 第四

一種微納結(jié)構(gòu)的慣性傳感器本體及其制作方法 發(fā)明專利 2009年7月29日 第四

集成光柵干涉微機(jī)械加速度傳感器及其制作方法 發(fā)明專利 2010年5月19日 第四

中國微米納米技術(shù)學(xué)會理事、常務(wù)副秘書長，中國儀器儀表學(xué)會微納器件與系統(tǒng)分會常務(wù)理事、秘書長，中國機(jī)械工程學(xué)會微納制造技術(shù)分會理事、副總干事，中國高等教育學(xué)會儀器與測控技術(shù)專業(yè)委員會委員。國家自然科學(xué)基金、航天基金、航空基金、863等評審專家，Sensors Journal、Advanced Materials Research特約編委，《光學(xué)精密工程》編委，若干國外著名期刊、國內(nèi)核心期刊審稿人。