簡(jiǎn)歷
2000年12月在中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械研究所獲機(jī)械工程學(xué)科博士學(xué)位,2003年從中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所博士后出站，并留所工作至今。主要從事MEMS器件的設(shè)計(jì)、制造與測(cè)試等方面的研究工作。作為項(xiàng)目負(fù)責(zé)人承擔(dān)兩項(xiàng)國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目，完成一項(xiàng)，在研一項(xiàng)。作為主要骨干參與完成多項(xiàng)973、863項(xiàng)目的研制工作。
詳情
申請(qǐng)或授權(quán)發(fā)明專(zhuān)利3項(xiàng)，在國(guó)際著名MEMS雜志JMEMS、JMM及國(guó)際重要MEMS會(huì)議IEDM、TRANSDUCERS上發(fā)表論文多篇。