簡歷
2000年12月在中國科學院長春光學精密機械研究所獲機械工程學科博士學位,2003年從中科院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所博士后出站,并留所工作至今。主要從事MEMS器件的設計、制造與測試等方面的研究工作。作為項目負責人承擔兩項國家自然科學基金項目,完成一項,在研一項。作為主要骨干參與完成多項973、863項目的研制工作。
詳情
申請或授權發(fā)明專利3項,在國際著名MEMS雜志JMEMS、JMM及國際重要MEMS會議IEDM、TRANSDUCERS上發(fā)表論文多篇。