科研項(xiàng)目
主持科研基金5項(xiàng),副主持科研基金1項(xiàng)。其中主持國(guó)家自然科學(xué)基金面上項(xiàng)目 1項(xiàng)(電磁場(chǎng)雙重誘導(dǎo)下納米多孔超低k薄膜的制備)、主持國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放課題1項(xiàng)(KLSMS0709電場(chǎng)誘導(dǎo)溶膠-凝膠制備納米多孔硅基低k材料)、主持教育部專項(xiàng)基金和?蒲袉(dòng)基金各1項(xiàng)(2010JS032和2007009)、主持本科生URP項(xiàng)目1項(xiàng)、副主持教育部重大項(xiàng)目1項(xiàng)(實(shí)現(xiàn)有害氣體定量檢測(cè)的材料制備及技術(shù)研究)。
著作論文
1.Effect of annealing on the properties of low-k nanoporous sio2 films Microelectronics Reliability 06.12
2.Improvement of microstructure of low dielectric constant SiOF thin films prepared by sol-gel method Microporous and Mesoporous Materials 08.04
3.Influence of HF on the microstructure properties of ultra low-k thin films prepared by sol-gel method Chinese Physics B 08.08
教學(xué)工作
承擔(dān)大學(xué)物理和大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)的教學(xué),年均教學(xué)量達(dá)到500學(xué)時(shí)
參加校級(jí)《精品課程建設(shè)》和《大學(xué)物理基礎(chǔ)課程》建設(shè)項(xiàng)目2項(xiàng)。