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  • 王守武

    王守武

    半導(dǎo)體器件物理學(xué)家。江蘇蘇州人。1941年畢業(yè)于同濟(jì)大學(xué)。1946年獲美國(guó)普渡大學(xué)碩士學(xué)位,1949年獲博士學(xué)位。中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員、微電子中心名譽(yù)主任。1958年籌建了我國(guó)第一個(gè)晶體管工廠。1963年起致力于砷化鎵激光器的研究工作,創(chuàng)造了簡(jiǎn)易的光學(xué)定晶向的方法,促進(jìn)了我國(guó)第一個(gè)砷化鎵激光器的研制成功。1973年起,在領(lǐng)導(dǎo)研究砷化鎵中高場(chǎng)疇的動(dòng)力學(xué)以及PNPN負(fù)阻激光器的瞬態(tài)和光電特性的過(guò)程中,提出了一些很有創(chuàng)見(jiàn)的學(xué)術(shù)觀點(diǎn)。1978年帶領(lǐng)科技人員進(jìn)行提高大規(guī)模集成電路芯片成品率的研究,解決了一系列技術(shù)難題,使中國(guó)大規(guī)模集成電路芯片的成品率有顯著提高,成本大為降低。1980年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院院士(學(xué)部委員)。

    王守武 - 簡(jiǎn)歷

    1941年畢業(yè)于同濟(jì)大學(xué)機(jī)電系。1949年獲美國(guó)普渡大學(xué)研究生院工程力學(xué)系博士學(xué)位。歷任中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所研究員、中科院技術(shù)科學(xué)部委員。是第三、四屆全國(guó)人大代表,第五、六屆全國(guó)政協(xié)委員。1956年負(fù)責(zé)籌建了我國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體研究室,設(shè)計(jì)制造了我國(guó)第一臺(tái)拉制鍺的單晶爐,制成了我國(guó)第一批鍺合金管和合金擴(kuò)散管,并籌建了中國(guó)的晶體管工廠。1960年又負(fù)責(zé)籌建中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所。同年組建半導(dǎo)體測(cè)試基地,建立半導(dǎo)體材料和器件的測(cè)試標(biāo)準(zhǔn),并研究測(cè)量半導(dǎo)體中少子壽命的拳方法,提高了半導(dǎo)體材料的性能。1963年開(kāi)始,致力于砷化鎵激光器的研制工作,創(chuàng)造了簡(jiǎn)易的光學(xué)定晶向的方法,促進(jìn)了我國(guó)第一個(gè)砷化鎵激光器的研制成功。領(lǐng)導(dǎo)了耿氏器件中疇雪崩馳豫振蕩的基礎(chǔ)研究工作,提出了有創(chuàng)見(jiàn)的觀點(diǎn)。1978年起,帶領(lǐng)科技人員研究用國(guó)產(chǎn)的工藝設(shè)備和原材料,提高大規(guī)模集成電路的成品率。1979年獲全國(guó)勞動(dòng)模范稱(chēng)號(hào)。

    1945~1949年在美國(guó)普渡大學(xué)研究生院學(xué)習(xí),獲碩士和博士學(xué)位,1949~1950年在該校任助理教授。1950年回國(guó)。在中國(guó)科學(xué)院物理研究所任副研究員、研究員,籌建了中國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體研究室并任室主任。1960年籌建中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所,任研究員、副所長(zhǎng),同時(shí)兼任中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)教授和物理系副主任、清華大學(xué)和北京大學(xué)兼職教授。他直接領(lǐng)導(dǎo)設(shè)計(jì)制造了中國(guó)第一臺(tái)拉制鍺的單晶爐,研制成功中國(guó)第一批鍺合金管和合金擴(kuò)散管。在他指導(dǎo)下成立了激光研究室。從1963年開(kāi)始,致力于砷化鎵激光器的研究工作,創(chuàng)造了簡(jiǎn)易的光學(xué)定晶向的方法,促進(jìn)了中國(guó)第一個(gè)砷化鎵激光器的研制成功。1973年起,領(lǐng)導(dǎo)研究半導(dǎo)體激光器中的高場(chǎng)疇動(dòng)力學(xué)和疇雪崩現(xiàn)象。1978年起領(lǐng)導(dǎo)研制半導(dǎo)體大規(guī)模集成電路及其工藝研究。

    主要論著有《半導(dǎo)體的電子生伏打效應(yīng)的理論》、《關(guān)于PN合金結(jié)中少數(shù)載流子的注射理論》、《用觸針下分布電阻的光電電導(dǎo)衰退來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體中少數(shù)載流子的壽命》等。王守武是國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)委員,國(guó)務(wù)院電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組集成電路顧問(wèn)組組長(zhǎng)。歷任中國(guó)電子學(xué)會(huì)常務(wù)理事,中國(guó)物理學(xué)會(huì)常務(wù)理事,北京物理學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng),中國(guó)電子學(xué)會(huì)半導(dǎo)體與集成技術(shù)學(xué)會(huì)主任委員兼《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》主編。1979年被授予全國(guó)勞動(dòng)模范稱(chēng)號(hào)。

    王守武 - 早年生活

    王守武,男,漢族,1919年3月15日出生于江蘇省蘇州市。孩童時(shí)代常被瘧疾糾纏,身體狀況不好,智力曾一度受到影響。上學(xué)后,經(jīng)常性的病休,持續(xù)不斷的自學(xué)磨練,使王守武從小就養(yǎng)成了寡言、內(nèi)向的性格,和善于獨(dú)立思考的習(xí)慣。在他4歲時(shí),父親赴上海與他人合股開(kāi)辦機(jī)械廠,家人也隨之遷居。不到兩年,工廠倒閉,家里分得不少機(jī)械加工工具,這卻使王守武在家有條件學(xué)會(huì)鉗工和配鑰匙、修理家庭用具、繞制變壓器等技藝。王守武后來(lái)之所以能在科研工作中動(dòng)手能力強(qiáng),均得益于那時(shí)的培養(yǎng)和磨練。他喜愛(ài)數(shù)學(xué)的父親,工作之余,常給子女們講些趣味數(shù)學(xué),或出一些智力測(cè)驗(yàn)題讓孩子們回答。

    那時(shí),王守武曾隨哥姐們聽(tīng)父親講過(guò)如何求園周率π的問(wèn)題,他雖聽(tīng)不懂,但“π”這個(gè)無(wú)理數(shù)的特性,卻一直印在他的腦海之中。1934年,父親退休后舉家遷回蘇州。王守武也隨之轉(zhuǎn)入省立蘇州中學(xué)學(xué)習(xí)。高中三年級(jí)時(shí),經(jīng)過(guò)對(duì)《三角》、《高等代數(shù)》的學(xué)習(xí),啟迪了他的思維,他從反三角函數(shù)的級(jí)數(shù)展開(kāi)中,得到了π的計(jì)算方法,寫(xiě)成“園周率π的級(jí)數(shù)展開(kāi)”一文,發(fā)表在蘇州中學(xué)的?,顯露了他在領(lǐng)悟數(shù)理理論方面的過(guò)人才華。自此,從事自然科學(xué)工作,既符合他父親的希望,也是他釀就的意愿,渴望在著名大學(xué)里得到名師的教誨和嚴(yán)格的科學(xué)訓(xùn)練。

    王守武高中畢業(yè)前夕,未曾根治的宿疾——瘧疾再次重犯,耽誤了學(xué)校的年終考試和蘇州全區(qū)的畢業(yè)會(huì)考。一張肄業(yè)證書(shū),難以像他哥姐們那樣入清華大學(xué)、燕京大學(xué)、協(xié)和醫(yī)學(xué)院等名牌學(xué)府就讀,只得聽(tīng)從曾留學(xué)德國(guó)的大哥的建議,進(jìn)上海同濟(jì)大學(xué)德文補(bǔ)習(xí)班學(xué)習(xí)。一年后,他重回蘇州中學(xué)參加會(huì)考,拿到了高中畢業(yè)文憑,才正式成為同濟(jì)大學(xué)機(jī)電系的學(xué)生!1937年,“七七”蘆溝橋事變后,日本侵略者將侵華戰(zhàn)火燒到上海,發(fā)動(dòng)了“八一三”事變,同濟(jì)大學(xué)不得不離滬內(nèi)遷。八年抗戰(zhàn)的歲月,人民生活不安寧,讀書(shū)也不安寧。好不容易挨到了1941年春天,王守武在云南昆明郊外的同濟(jì)大學(xué)臨時(shí)校舍里畢業(yè)后,因舉家已遷往昆明,遂就近在昆明入兄長(zhǎng)王守競(jìng)?cè)慰偨?jīng)理的中央機(jī)器廠當(dāng)了工務(wù)員。一年后又入中國(guó)工合翻砂實(shí)驗(yàn)工廠任工務(wù)主任。經(jīng)過(guò)實(shí)踐,訥于言談的王守武自感不適合從事工廠管理工作,便轉(zhuǎn)到同濟(jì)大學(xué)任教。  

    1945年8月,抗日戰(zhàn)爭(zhēng)勝利,王守武出于愛(ài)國(guó)熱忱,憧憬“科學(xué)救國(guó)”的道路,便于當(dāng)年10月,負(fù)笈遠(yuǎn)行,橫渡大洋,入美國(guó)印第安那州普度大學(xué)研究生院攻讀工程力學(xué)。翌年6月,榮獲碩士學(xué)位。王守武各門(mén)功課優(yōu)異,尤以數(shù)學(xué)成績(jī)最好,深得導(dǎo)師贊賞。校方為鼓勵(lì)王守武繼續(xù)深造,資助他攻讀博士學(xué)位。這時(shí),正在興起的量子力學(xué)引起了王守武的興趣,便從工程力學(xué)轉(zhuǎn)向?qū)ξ⒂^粒子運(yùn)動(dòng)規(guī)律的研究。兩年后,王守武完成了題為“一種計(jì)算金屬鈉的結(jié)合能和壓縮率的新方法”的論文,獲得了博士學(xué)位。 

    王守武

    王守武的本意是獲得博士學(xué)位后即回國(guó)效力。1949年的祖國(guó),正處于黎明前的黑暗時(shí)期,王守武難以成行,經(jīng)普度大學(xué)工程力學(xué)系主任斯蒂姆(STURM)的敦聘,留校執(zhí)教,并與同在普度大學(xué)留學(xué)的葛修懷女士,組成了溫馨的家庭,過(guò)著寧?kù)o、舒適的生活!

    1949年的10月1日,大洋彼岸的中華大地,傳來(lái)了新中國(guó)誕生的喜訊,許多與國(guó)民黨軍政要員無(wú)多大關(guān)系的留美同學(xué),常聚會(huì)在王守武的家里,傳看報(bào)道中華人民共和國(guó)成立的報(bào)紙。王守武雖然不熱心于政治,但對(duì)國(guó)民黨政府的反動(dòng)和腐敗深有認(rèn)識(shí),對(duì)共產(chǎn)黨為國(guó)為民的政策也時(shí)有所聞,并深為欽佩和崇敬,當(dāng)時(shí)他深深感到,貧窮落后的祖國(guó),將在共產(chǎn)黨的領(lǐng)導(dǎo)下復(fù)興,在社會(huì)主義的大道上繁榮,從而下定決心,盡快回歸祖國(guó),以圖報(bào)效!

    王氏夫婦決意回歸故里的消息傳開(kāi)后,一些當(dāng)時(shí)身處美國(guó)的同學(xué)和同事勸他留在美國(guó)繼續(xù)自己的教學(xué)生涯;也有的因懾于美國(guó)聯(lián)邦調(diào)查局的淫威,勸他們不要冒風(fēng)險(xiǎn)。但是,主意已定的王守武夫婦毫不動(dòng)搖,互相勸勉和鼓勵(lì),并為早日回歸祖國(guó)進(jìn)行準(zhǔn)備! 1950年的6月25日朝鮮戰(zhàn)爭(zhēng)爆發(fā)。王守武出自對(duì)時(shí)局的敏感,認(rèn)為應(yīng)盡快行動(dòng),便借思念年邁的孤寡母親為由,向美國(guó)當(dāng)局遞交了回國(guó)申請(qǐng)。獲得批準(zhǔn)后,即毫不遲疑地偕同夫人攜不滿周歲的女兒,啟程回國(guó)。自此,王守武開(kāi)始了為國(guó)效力的生涯! ∷氖嗄陙(lái),王守武在他效力的中國(guó)科學(xué)院,恪盡職守,勤奮工作,為祖國(guó)的科學(xué)事業(yè),特別是在半導(dǎo)體科技領(lǐng)域,建樹(shù)甚多,作出了一系列富有開(kāi)拓性的貢獻(xiàn)。  

    王守武1960年加入中國(guó)共產(chǎn)黨,1980年被評(píng)選為中國(guó)科學(xué)院技術(shù)科學(xué)部學(xué)部委員(現(xiàn)改稱(chēng)為中國(guó)科學(xué)院院士),曾任國(guó)務(wù)院電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組集成電路顧問(wèn)組組長(zhǎng),中國(guó)電子學(xué)會(huì)常務(wù)理事,中國(guó)物理學(xué)會(huì)常務(wù)理事,北京物理學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)。現(xiàn)任中國(guó)電子學(xué)會(huì)理事、中國(guó)電子學(xué)會(huì)半導(dǎo)體與集成技術(shù)學(xué)會(huì)主任委員,《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》主編。他是第三、四屆全國(guó)人大代表,第五、六、七屆全國(guó)政協(xié)委員。

    王守武 - 立志報(bào)國(guó)

    “1950年‘回國(guó)潮’的時(shí)候我們一起回國(guó)!蓖跏匚湓菏靠隙ǖ卣f(shuō)?粗趯(duì)面的鶴發(fā)童顏的老者思維清晰地回憶著過(guò)去的事情,我們無(wú)法相信這是一個(gè)87歲的老人。他正在向我們講述他回國(guó)時(shí)候的事情。1950年出現(xiàn)了一次海外留學(xué)生的“回國(guó)潮”,大批的留學(xué)生在看到中國(guó)解放以后都紛紛回國(guó)要“建設(shè)自己的家園”。1950年2月著名數(shù)學(xué)家華羅庚在歸國(guó)途中向中國(guó)的第三代留學(xué)生們發(fā)出了《致中國(guó)全體留美學(xué)生的公開(kāi)信》,3月11日新華社公開(kāi)發(fā)表,之后這些留學(xué)生們紛紛回國(guó)。

    王守武曾在同濟(jì)大學(xué)主攻機(jī)電專(zhuān)業(yè),戰(zhàn)爭(zhēng)年代的大學(xué)生活,培養(yǎng)了王守武很強(qiáng)的自學(xué)能力,畢業(yè)后,先在工廠搞設(shè)計(jì)又回到大學(xué),當(dāng)了一名助教,他認(rèn)為只有這樣,才能學(xué)以致用,真正發(fā)揮自己的作用。他自己先行學(xué)習(xí),再教給學(xué)生。他不滿足于此,便開(kāi)始接觸材料力學(xué),感到材料力學(xué)中有更多可探求的東西。因此,他去美國(guó)攻讀材料力學(xué)碩士。畢業(yè)后,正值國(guó)內(nèi)內(nèi)戰(zhàn),他暫時(shí)留在美國(guó)繼續(xù)求學(xué)。材料的力學(xué)強(qiáng)度與原子結(jié)構(gòu)有關(guān),他轉(zhuǎn)而又做原子結(jié)構(gòu)的研究。求知欲,好奇心,促使他在相關(guān)的研究領(lǐng)域不斷探索,去了解更深、更廣的自然規(guī)律。固體理論中的能帶結(jié)構(gòu),是當(dāng)時(shí)的新東西,這極大地滿足了王守武不僅要把問(wèn)題搞懂,還要搞得更深、更精的心理,他又攻讀了這一領(lǐng)域的博士學(xué)位。

    作為新中國(guó)成立后第一批回國(guó)報(bào)效的熱血青年之一的王守武最想去的是北京,所以當(dāng)上海有人想要挽留他時(shí),他沒(méi)有答應(yīng)!爱(dāng)時(shí)我來(lái)的時(shí)候半導(dǎo)體所還沒(méi)有成立,我一回來(lái)是在應(yīng)用物理研究所,半導(dǎo)體的事情是在我們手里做起來(lái)的,那個(gè)時(shí)候中國(guó)還沒(méi)有半導(dǎo)體,我們回來(lái)的時(shí)候世界上的半導(dǎo)體業(yè)才剛剛起步!蓖跏匚浠貞浾f(shuō),“我到了美國(guó)學(xué)了一點(diǎn)量子力學(xué),然后就偏重于物理了,所以回來(lái)就到了物理所。半導(dǎo)體呢是因?yàn)槭菄?guó)家的需要,所以我就轉(zhuǎn)過(guò)來(lái)做半導(dǎo)體!

    1956年,是王守武科學(xué)研究工作中的一個(gè)關(guān)鍵的轉(zhuǎn)折點(diǎn)。因?yàn)樵谶@一年,王守武應(yīng)邀到京西賓館參加由周恩來(lái)總理主持的“全國(guó)十二年科學(xué)技術(shù)發(fā)展遠(yuǎn)景規(guī)劃”的討論和制訂工作。在所確定的57項(xiàng)重大科技項(xiàng)目中,半導(dǎo)體科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,被列為四大緊急措施之一。為了落實(shí)這項(xiàng)緊急任務(wù),中央有關(guān)部門(mén)決定由黃昆、謝希德和王守武等知名學(xué)者,分別在培養(yǎng)人才和從事開(kāi)拓性研究?jī)蓚(gè)方面進(jìn)行突擊。王守武深知這一工作的重要性,毅然中斷了其他科研項(xiàng)目,全身心地投入到半導(dǎo)體的研究工作中來(lái),組成了中國(guó)科學(xué)院應(yīng)用物理所中中國(guó)第一個(gè)半導(dǎo)體研究室。

    根據(jù)當(dāng)時(shí)國(guó)外文獻(xiàn)的報(bào)道,鍺是制作晶體管最現(xiàn)實(shí)的材料。目標(biāo)明確之后,在他與同事吳錫九研究員的組織領(lǐng)導(dǎo)下,集中了二機(jī)部華北無(wú)線電元件研究所、南京工學(xué)院等單位的40余名科學(xué)工作者,開(kāi)始了半導(dǎo)體鍺材料的研究工作。他一面抓鍺材料的提純,一面親自領(lǐng)導(dǎo)設(shè)計(jì)制造了我國(guó)第一臺(tái)拉制半導(dǎo)體鍺材料的單晶爐,并于1957年底拉制成功了我國(guó)第一根鍺單晶;同年11月底到次年初,王守武與同事合作,研制成功了我國(guó)第一批鍺合金結(jié)晶體管,并掌握了鍺單晶中的摻雜技術(shù),能控制鍺單晶的導(dǎo)電類(lèi)型、電阻率及少數(shù)載流子壽命等電學(xué)指標(biāo),達(dá)到了器件生產(chǎn)的要求。1958年8月,負(fù)責(zé)器件組工作的王守覺(jué)副研究員從蘇聯(lián)學(xué)習(xí)歸來(lái),引來(lái)了合金擴(kuò)散工藝,加速了我國(guó)第一批鍺高頻合金擴(kuò)散晶體管的成功研制。作為研究室主任的王守武,在參與研制鍺高頻合金擴(kuò)散管的同時(shí),又參與了拉制硅單晶的組織領(lǐng)導(dǎo)工作,并具體解決了在拉制硅單晶過(guò)程中因坩堝底部溫度過(guò)高而引起的跳硅難題。

    1957年林蘭英回國(guó),王守武親自到她所住的賓館去動(dòng)員她來(lái)半導(dǎo)體工作組工作,任材料研究組組長(zhǎng),具體實(shí)施了硅單晶的拉制方案。經(jīng)王守武與林蘭英的共同努力,使得我國(guó)第一根硅單晶于1958年7月問(wèn)世。為了促進(jìn)我國(guó)第二代(晶體管型)電子計(jì)算機(jī)的研究,在王守武與有關(guān)同志的組織領(lǐng)導(dǎo)下,于1958年創(chuàng)建了我國(guó)最早的一家生產(chǎn)晶體管的工廠——中國(guó)科學(xué)院109工廠,從事鍺高頻晶體管的批量生產(chǎn)。在人員和設(shè)備都較困難的情況下,組織全廠人員奮戰(zhàn),到1959年底,為研制109乙型計(jì)算機(jī)提供了12個(gè)品種、14.5萬(wàn)多只鍺晶體管,完成了該機(jī)所需的器件生產(chǎn)

    王守武 - 偶然興趣

    1960年9月6日,中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所正式成立,王守武被任命為首任副所長(zhǎng),負(fù)責(zé)全所的科研業(yè)務(wù)管理和開(kāi)拓分支學(xué)科的組建等工作。

    但是在剛剛回國(guó)的時(shí)候王守武還做過(guò)許多其他的事情,他至今都覺(jué)得很有意思。1950年底,王守武剛剛到物理所,就有人交給他一項(xiàng)緊急任務(wù):為在抗美援朝前線的志愿軍運(yùn)輸隊(duì)設(shè)計(jì)一種特殊的車(chē)燈和路標(biāo)。那個(gè)時(shí)候前線運(yùn)輸?shù)能?chē)子晚上不能開(kāi)燈,刺眼的燈光在晚上會(huì)成為敵軍飛機(jī)的轟炸目標(biāo)。要設(shè)計(jì)出一種特殊的車(chē)燈和路標(biāo),使車(chē)上的司機(jī)能看見(jiàn)又不致被敵機(jī)發(fā)現(xiàn)。王守武馬上組織科研人員依據(jù)他的設(shè)計(jì)進(jìn)行加工制作。他依據(jù)光線在錐體表面定向反射的原理,使特殊設(shè)計(jì)的車(chē)燈光線在路標(biāo)上的反射光,只能定向地射到司機(jī)的眼里,避免了敵機(jī)發(fā)現(xiàn)的可能性。設(shè)計(jì)制作完成后,在北京郊區(qū)進(jìn)行了實(shí)地試驗(yàn),結(jié)果非常成功地解決了問(wèn)題。

    1951年5月西藏和平解放后,當(dāng)?shù)卣l(fā)現(xiàn)藏民生活用燃料奇缺,能源不足,但是高原的陽(yáng)光充足,便向中國(guó)科學(xué)院提出了“用太陽(yáng)來(lái)做飯”的請(qǐng)求。受命主持此項(xiàng)設(shè)計(jì)任務(wù)的王守武,考慮到制造一個(gè)大面積的拋物形反射鏡加工有困難,決定改用多個(gè)窄圓錐形反射面組成的反射系統(tǒng),用調(diào)整每個(gè)圓錐面斜度的方法,使平行于主軸方向的光線都反射到太陽(yáng)灶的中心。設(shè)計(jì)制作成功后,用它可以在15分鐘內(nèi)把一壺水燒開(kāi)。這種太陽(yáng)灶,至今還在青藏高原發(fā)揮它的作用!霸谀莻(gè)時(shí)候做這個(gè)東西也不需要太大的成本,我們就是用鍍鋅鐵皮拼起來(lái)的,很簡(jiǎn)單。這幾個(gè)例子就是我回來(lái)以后做的幾件事情,這些都是實(shí)際應(yīng)用的東西!蓖跏匚鋵(duì)這些事情的評(píng)價(jià)就是都是有用的東西。

    但是這些事情都是和半導(dǎo)體沒(méi)什么關(guān)系的事情,讓他對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生興趣是一個(gè)很偶然的機(jī)會(huì)!霸谖锢硭臅r(shí)候有人說(shuō)有個(gè)儀表壞了他們不會(huì)修,送給我們,我們拆開(kāi)了一看,里面有個(gè)叫氧化亞銅的鎮(zhèn)流器壞了,這個(gè)東西去啊里弄啊,我們就查了一些文獻(xiàn)后自己做,就這樣對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生了興趣,之后在做12年規(guī)劃的時(shí)候就選擇了半導(dǎo)體!辈槲墨I(xiàn),自己做,這是你經(jīng)常能從王守武嘴里聽(tīng)到的話,他對(duì)于這種要自己動(dòng)手的事情有著濃厚的興趣。所以他也說(shuō)他和黃昆一個(gè)是做理論的一個(gè)是做應(yīng)用的!皣(guó)家的需要就是王守武所要追求的目標(biāo),也就是在這樣一種信念的鞭策之下王守武相繼又攻克了幾個(gè)大的課題。

    王守武 - 研究成果

    大規(guī)模集成電路

    20世紀(jì)50年代末,自從鍺、硅半導(dǎo)體單晶材料和晶體管在半導(dǎo)體研究室相繼問(wèn)世后,半導(dǎo)體材料與器件工業(yè)在全國(guó)如雨后春筍般地發(fā)展起來(lái),但材料與器件質(zhì)量的檢測(cè)手段還遠(yuǎn)不能適應(yīng)客觀需要,因?yàn)樵诋?dāng)時(shí),不同單位對(duì)同一參數(shù)的測(cè)試結(jié)果差別很大,難以據(jù)此來(lái)判斷各單位所取得成果的水平。1962年,王守武依據(jù)國(guó)家科委的決定,在半導(dǎo)體所籌建全國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試中心。1964年元旦前夕,研制成功了我國(guó)第一只半導(dǎo)體激光器。

    此后,為了把這些科研成果迅速推廣到實(shí)際應(yīng)用中去,王守武除了繼續(xù)從事研制新品種激光器外,還親自指導(dǎo)并參與了激光通信機(jī)和激光測(cè)距儀的研制工作。此后不久,我國(guó)第一臺(tái)激光通信機(jī)就誕生了,它可以在無(wú)連線的情況下,保密通話達(dá)3公里以上。為了提高激光測(cè)距儀的可測(cè)距離,王守武提出并設(shè)計(jì)了從噪聲中提取信號(hào)的電路,裝上這個(gè)電路后可以使激光測(cè)距儀的測(cè)距能力提高一倍以上。這些研究成果填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,有力地支援了國(guó)防現(xiàn)代化建設(shè)和國(guó)民經(jīng)濟(jì)建設(shè)。

    但是,正當(dāng)王守武為發(fā)展中國(guó)半導(dǎo)體科學(xué)事業(yè)大顯身手、全力以赴地奉獻(xiàn)自己的聰明才智時(shí),“文化大革命”開(kāi)始了。王守武被停職審查,無(wú)端的誣蔑和誹謗讓他覺(jué)得“委屈”、“憤懣”和“不解”,但是這些都并未對(duì)他立志為國(guó)的決心有絲毫的動(dòng)搖。為了彌補(bǔ)激光器件研究室缺少分析激光特性手段的缺陷,他主動(dòng)提出,經(jīng)監(jiān)管人員批準(zhǔn),設(shè)計(jì)研制成功了激光發(fā)散角分布測(cè)試儀。1968年春,當(dāng)時(shí)的國(guó)防科委領(lǐng)導(dǎo)點(diǎn)名要王守武緊急完成一項(xiàng)從越南戰(zhàn)場(chǎng)運(yùn)回的武器解剖任務(wù)。王守武毫不猶豫地登上了前往西安的航程!拔母铩焙笃,周恩來(lái)總理提出“要重視基礎(chǔ)理論研究”的號(hào)召。王守武不顧半導(dǎo)體研究所的基礎(chǔ)理論研究隊(duì)伍受到“文革”嚴(yán)重摧殘的困難局面,積極響應(yīng)周總理的號(hào)召,著手于基礎(chǔ)理論的研究工作,開(kāi)展了對(duì)新發(fā)現(xiàn)的耿氏器件中疇的雪崩馳豫振蕩的深入研究。依這項(xiàng)工作寫(xiě)成的論文,1975年在美國(guó)物理學(xué)會(huì)年會(huì)上宣讀后,得到國(guó)外同行的好評(píng),當(dāng)年的《中國(guó)科學(xué)》上發(fā)表了這篇論文。在這基礎(chǔ)上,他開(kāi)始用計(jì)算機(jī)模擬技術(shù)對(duì)耿氏器件中高場(chǎng)疇的動(dòng)力學(xué)進(jìn)行分析研究,取得了系列成果,發(fā)表了多篇論文。

    1978年10月,王守武被請(qǐng)到中國(guó)科學(xué)院主要領(lǐng)導(dǎo)同志的辦公室,要他出馬,全面負(fù)責(zé)4000位的MOS隨機(jī)存儲(chǔ)器這一大規(guī)模集成電路的研究工作。這個(gè)時(shí)候王守武那種“做有用的東西”的思想又冒了出來(lái),他認(rèn)為搞一種新產(chǎn)品,只出樣品、禮品、展品,沒(méi)有一定的成品率,不能真正解決國(guó)家的急需;只有在國(guó)產(chǎn)設(shè)備的基礎(chǔ)上提高成品率,才有推廣生產(chǎn)的現(xiàn)實(shí)意義。

    但是研制這種大規(guī)模集成電路,要在面積不到4×4平方毫米的單元硅片上,經(jīng)過(guò)40多道工序,制作出由1.1萬(wàn)多個(gè)晶體管、電阻、電容等元件構(gòu)成的電子電路。如果單項(xiàng)工藝的完好率達(dá)到95%,芯片的最終工藝完好率也只有13%,要制作出樣品,并有一定的成品率,談何容易。王守武從穩(wěn)定工藝入手,跟著片子的流程,對(duì)工藝線的每道工序進(jìn)行認(rèn)真細(xì)致的檢查,要求各工序的負(fù)責(zé)人,詳盡地定出各自的操作規(guī)程。定好后就嚴(yán)格執(zhí)行,未經(jīng)工藝負(fù)責(zé)人應(yīng)允,不許隨意更改。要想工藝質(zhì)量穩(wěn)定,首先必須凈化系統(tǒng)和使工藝設(shè)備性能穩(wěn)定。王守武率領(lǐng)科研人員對(duì)所用的儀器設(shè)備,一件件、一臺(tái)臺(tái)地認(rèn)真檢修、改造和革新,從根本上解決問(wèn)題,使之穩(wěn)定可靠。風(fēng)浴門(mén)時(shí)控開(kāi)關(guān)壞了、光刻機(jī)漏油、蒸發(fā)器性能不穩(wěn)、橢圓測(cè)厚儀常出毛病,王守武常常親自進(jìn)行檢修,不止一次地趴在地下查找原因、更換元件。對(duì)所用超純水、試劑、超純氣體、光刻膠、超微粒干版、版基玻璃等基礎(chǔ)材料,都一一進(jìn)行認(rèn)真測(cè)試,使之達(dá)到所需的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)。

    王守武依據(jù)他對(duì)單項(xiàng)工藝研究的設(shè)想,要求一般工藝完好率達(dá)95%以上、關(guān)鍵工藝完好率達(dá)99%以上之后,先從研制難度不大的256位中規(guī)模集成電路入手,以驗(yàn)證工藝流程的穩(wěn)定性和可靠性。當(dāng)其成品率達(dá)47%以上時(shí),王守武才讓投片研制4000位動(dòng)態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器。為了對(duì)比選優(yōu),投入了三種不同的設(shè)計(jì)版圖,并都出了樣品。1979年9月28日,其中一種版圖的批量成品率達(dá)20%以上,最高的達(dá)40%,為當(dāng)時(shí)國(guó)內(nèi)大規(guī)模集成電路研制中前所未有的最高水平。

    1980年,剛剛過(guò)完春節(jié),上級(jí)要王守武去中國(guó)科學(xué)院109工廠兼任廠長(zhǎng)職務(wù),開(kāi)展這4000位大規(guī)模集成電路的推廣工作,從事提高成品率、降低成本的集成電路大生產(chǎn)試驗(yàn)。

    在完成廠房、設(shè)備、原材料等基本條件的質(zhì)量保證工作之后,王守武又指導(dǎo)科技人員一絲不茍地解決工藝中的每個(gè)問(wèn)題。在確定工藝技術(shù)方案時(shí),他不僅引導(dǎo)大家大膽采用等離子化學(xué)汽相淀積(CVD)這一最新工藝,還積極采用半導(dǎo)體研究所發(fā)明的一種成本低、光刻線邊界整齊、針孔少、適合大生產(chǎn)的無(wú)顯影光刻技術(shù)。王守武認(rèn)為,取得一個(gè)電路品種的高成品率只是表示這套生產(chǎn)工藝可以起步;要使各個(gè)電路品種均能高成品率地產(chǎn)出并符合設(shè)計(jì)要求,還得在保證封裝質(zhì)量、依用戶對(duì)產(chǎn)品的反饋信息改進(jìn)電路性能和使之批批穩(wěn)產(chǎn)、高成品率產(chǎn)出上狠下功夫。中科院109廠的這條年產(chǎn)上百萬(wàn)塊中、大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線,就這樣地在王守武的精心操持下宣告建成,其產(chǎn)品亦隨之進(jìn)入市場(chǎng)并經(jīng)受了眾多用戶的考驗(yàn)。

    王守武 - 研究成就

    1956-1957,研制成我國(guó)第一顆鍺單晶和第一只鍺晶體管,主持

    1978-1979,提高大規(guī)模集成電路成品率的研究,主持

    1960-1963,建立全國(guó)半導(dǎo)體測(cè)試中心,主持

    獲獎(jiǎng):

    19881991,半導(dǎo)體器件研究與進(jìn)展,科學(xué)出版社,

    198502,GaAs/GaAlAsPn-Pn激光器的自振頻率特性,IEEProc.第132卷,

    197511,平面Gunn器件中的雪崩馳豫振蕩,中國(guó)科學(xué)第18卷,

    19781981,4K和16K位動(dòng)態(tài)隨機(jī)存貯器的研制,中國(guó)科學(xué)院,科學(xué)技術(shù)成果獎(jiǎng)

    19851987,世界新技術(shù)革命和我國(guó)對(duì)策,國(guó)家科學(xué)技術(shù)委員會(huì),科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)

    19801985,集成電路大生產(chǎn)試驗(yàn),中國(guó)科學(xué)院,科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎(jiǎng)


    王守武的主要論著有

    《半導(dǎo)體的電子生伏打效應(yīng)的理論》、《關(guān)于PN合金結(jié)中少數(shù)載流子的注射理論》、《用觸針下分布電阻的光電電導(dǎo)衰退來(lái)測(cè)量半導(dǎo)體中少數(shù)載流子的壽命》等。王守武是中國(guó)科學(xué)院學(xué)部委員,國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)委員,國(guó)務(wù)院電子計(jì)算機(jī)和大規(guī)模集成電路領(lǐng)導(dǎo)小組集成電路顧問(wèn)組組長(zhǎng)。他歷任中國(guó)電子學(xué)會(huì)常務(wù)理事,中國(guó)物理學(xué)會(huì)常務(wù)理事,北京物理學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng),中國(guó)電子學(xué)會(huì)半導(dǎo)體與集成技術(shù)學(xué)會(huì)主任委員兼《半導(dǎo)體學(xué)報(bào)》主編。

    王守武 - 院士評(píng)價(jià)

    王守武,中國(guó)科學(xué)院院士,中國(guó)半導(dǎo)體事業(yè)奠基人之一。早年留學(xué)美國(guó),新中國(guó)成立初期回國(guó)。1956年,王守武成為中科院物理研究所半導(dǎo)體室主任。1960年中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所成立,王先生出任第一任業(yè)務(wù)副所長(zhǎng)。1978年黃昆先生任半導(dǎo)體所所長(zhǎng)后,他們通力合作,為我國(guó)半導(dǎo)體元器件、光電子發(fā)展領(lǐng)域奠定了堅(jiān)實(shí)的科技基礎(chǔ),作出了重要的貢獻(xiàn)。今年,已87歲高齡的王守武,仍活躍在科研一線,每年還奔波于中美兩國(guó)之間。在國(guó)內(nèi)他承擔(dān)了中科院半導(dǎo)體所和微電子所兩方面的研究工作,每周堅(jiān)持工作兩天,并樂(lè)此不疲。

    王守武1919年出生在蘇州的一戶名門(mén)望族。上溯幾代,這個(gè)家族明朝時(shí)曾出過(guò)宰相,“詩(shī)書(shū)傳家久”的古訓(xùn)是這個(gè)家族的座右銘,他的父親在清朝的時(shí)候是留學(xué)生監(jiān)董,專(zhuān)心讀書(shū)、獲取知識(shí),為國(guó)家做力所能及的事是這個(gè)家族的家風(fēng)。

    王守武大姐王淑貞是我國(guó)婦產(chǎn)科學(xué)奠基人之一,與著名婦產(chǎn)科專(zhuān)家林巧稚齊名,有“南王北林”之譽(yù)。大哥也是學(xué)物理的,回國(guó)后在浙江大學(xué)教了一段時(shí)間的書(shū),后因工作原因定居美國(guó),他的愛(ài)人是外國(guó)人,他很想回國(guó),但是他的夫人不同意,到逝世時(shí)也沒(méi)回國(guó)。排行老三的姐姐王明貞教授是著名的統(tǒng)計(jì)物理隨機(jī)過(guò)程專(zhuān)家,1943年至1945年在美國(guó)麻省理工學(xué)院雷達(dá)實(shí)驗(yàn)室參加美國(guó)早期軍用雷達(dá)研制,1955年回國(guó),在清華大學(xué)物理系教研組任教。四姐是學(xué)文學(xué)的,倒是這個(gè)偏理家族里的一個(gè)另類(lèi);四哥是學(xué)精密機(jī)械的,出國(guó)進(jìn)修后在天津大學(xué)教書(shū);最小的弟弟是中科院院士王守覺(jué),二人被稱(chēng)為中科院的“雙子座”。在同一個(gè)所工作。

    但是王守武的求學(xué)之路并不是像人們所想的那樣一帆風(fēng)順,高中畢業(yè)前夕,未曾根治的宿疾——瘧疾再次重犯,耽誤了學(xué)校的年終考試和蘇州全區(qū)的畢業(yè)會(huì)考。他只得到了一張肄業(yè)證書(shū),難以像他的哥姐們那樣入清華大學(xué)、燕京大學(xué)、協(xié)和醫(yī)學(xué)院等名牌學(xué)府就讀,但是這并未阻擋過(guò)他求學(xué)的步伐。他聽(tīng)從曾留學(xué)德國(guó)的大哥的建議,進(jìn)上海同濟(jì)大學(xué)德文補(bǔ)習(xí)班學(xué)習(xí)。一年后,他重回蘇州中學(xué)參加會(huì)考,拿到了高中畢業(yè)文憑,并正式成為同濟(jì)大學(xué)機(jī)電系的學(xué)生。這種不服輸?shù)男愿褚惨恢庇绊懼髞?lái)的研究工作。

    王守武 - 相關(guān)詞條

    梁思禮 匡定波 李衍達(dá) 雷嘯霖 林尊琪
    干福熹 黃宏嘉 李啟虎 陸汝鈐 劉盛綱
    郭雷 黃民強(qiáng) 李未 侯洵 劉永坦
    郭光燦 黃琳 簡(jiǎn)水生 李志堅(jiān) 劉頌豪
    高慶獅 何積豐 侯朝煥 林惠民 闕端麟

    王守武 - 參考資料

    1、http://info.datang.net/W/W0298.htm

    2、http://www.cust.com.cn/detail_zj.aspx?sid=18044

    3、http://www.zidonghua.com.cn/News/detail.asp?id=3005

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