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  • 闕端麟

    闕端麟

    半導(dǎo)體材料學(xué)家闕端麟1928年5月19日生,福建福州人。1951年8月畢業(yè)于廈門(mén)大學(xué)電機(jī)系,畢業(yè)后留校任教。1953年調(diào)浙江大學(xué)。現(xiàn)任浙江大學(xué)教授、浙江省政協(xié)副主席、浙江省科協(xié)主席。他是國(guó)內(nèi)較早開(kāi)始半導(dǎo)體材料探索的研究者之一。1954年開(kāi)始了溫差電材料研究,試制成溫差電發(fā)電機(jī)。他研究發(fā)展了單色紅外光電導(dǎo)衰減硅少子壽命測(cè)試儀,1988年獲國(guó)家發(fā)明三等獎(jiǎng)。他研究成功減壓充氮直拉硅單晶技術(shù),取得中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利7項(xiàng),該成果于1989年獲國(guó)家發(fā)明二等獎(jiǎng)。1991年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院院士。

    闕端麟 - 基本資料

    闕端麟男,1928年生,教授,博士生導(dǎo)師,中科院院士。1954年在國(guó)內(nèi)開(kāi)始了半導(dǎo)體溫差電材料研制。1959年開(kāi)始硅材料研究工作。先后主持并完成的研究課題有硅烷法制取高純硅;紅外光源硅單晶壽命儀;減壓充氮直拉硅單晶技術(shù);雙頻動(dòng)態(tài)電導(dǎo)法硅單晶導(dǎo)電型號(hào)儀.1超高純硅烷國(guó)家六五攻關(guān);探測(cè)器級(jí)特高阻硅單晶國(guó)家六五、七五攻關(guān)項(xiàng)目;微氮直拉硅單晶的基礎(chǔ)研究有關(guān)課題和多孔硅發(fā)光機(jī)理研究等。先后為本科生、研究生開(kāi)設(shè)《電工材料》、《半導(dǎo)體材料》、《近代物理基礎(chǔ)》等課程。其中國(guó)家攻關(guān)項(xiàng)目都獲得四委表彰。除省部級(jí)獎(jiǎng)外,“全分了篩吸附法提純硅烷”獲1980年國(guó)家發(fā)明三等獎(jiǎng);“高額109/m紅外光電導(dǎo)衰減硅單晶少子壽命測(cè)試儀”獲1988年國(guó)家發(fā)明三等獎(jiǎng);“減壓充氮直拉硅單晶技術(shù)獲1989年國(guó)家發(fā)明二等獎(jiǎng)。發(fā)表的重要論文50余篇。獲中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利權(quán)8項(xiàng)。個(gè)人榮獲國(guó)家級(jí)有突出貢獻(xiàn)的中青年專(zhuān)家、浙江省勞動(dòng)模范、全國(guó)五一勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆?/p>1951年畢業(yè)于廈門(mén)大學(xué)電機(jī)系。歷任浙江大學(xué)講師、副教授、教授,半導(dǎo)體材料研究所所長(zhǎng)、副校長(zhǎng),國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)第二屆學(xué)科評(píng)議組成員,中國(guó)電子學(xué)會(huì)電子材料專(zhuān)業(yè)學(xué)會(huì)第二屆副主任委員,浙江省電子學(xué)會(huì)第三屆副理事長(zhǎng),九三學(xué)社浙江省委第一屆副主任委員。是第六屆全國(guó)政協(xié)委員。在國(guó)內(nèi)首先開(kāi)展硅烷法提純硅的研究,領(lǐng)導(dǎo)研究成功以分子篩吸附生產(chǎn)高純硅的方法。提出氮?dú)獗Wo(hù)直拉硅單晶技術(shù),1986年獲國(guó)家發(fā)明專(zhuān)利。

    長(zhǎng)期從事半導(dǎo)體材料研究工作,在國(guó)內(nèi)首先開(kāi)展用硅烷法制備純硅,駐高純硅烷的研究。負(fù)責(zé)并領(lǐng)導(dǎo)高純極高阻硅單晶的研制,成功地研制出極高阻控測(cè)器級(jí)硅單晶。在硅單晶電學(xué)測(cè)試方面,提出雙頻動(dòng)態(tài)電導(dǎo)法和間歇加熱法硅單晶導(dǎo)電類(lèi)型判別技術(shù)。發(fā)展了單色紅外光電導(dǎo)衰減壽命測(cè)試技術(shù)和理論,使硅單晶工業(yè)產(chǎn)品壽命測(cè)試儀全部國(guó)產(chǎn)化,首先提出用氮作為保護(hù)氣直拉硅單晶技術(shù)。沖破長(zhǎng)期以來(lái)認(rèn)為氮與硅在高溫下發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的思想束縛,生產(chǎn)出優(yōu)質(zhì)低成本硅單晶。促進(jìn)并領(lǐng)導(dǎo)CZ--硅中氮雜質(zhì)基礎(chǔ)研究的開(kāi)展。

    闕端麟 - 工作經(jīng)歷

    1951年畢業(yè)于廈門(mén)大學(xué)電機(jī)系,畢業(yè)后留校任教;
    1953年調(diào)浙江大學(xué)工作,1954年晉升為講師,1978年晉升為副教授,1981年晉升為教授;
    曾先后任浙江大學(xué)電機(jī)系實(shí)驗(yàn)室主任、無(wú)線電系半導(dǎo)體材料與器件教研室副主任、材料科學(xué)與工程系副主任、半導(dǎo)體材料研究室主任、半導(dǎo)體材料研究所所長(zhǎng)、浙江大學(xué)副校長(zhǎng)、校務(wù)委員會(huì)副主任等職;

    1954年,他開(kāi)始從事溫差電材料的研究,跨入了半導(dǎo)體材料這一新興學(xué)科,試制成我國(guó)第一臺(tái)溫差發(fā)動(dòng)機(jī);他在政府和學(xué)術(shù)團(tuán)體中擔(dān)任的專(zhuān)業(yè)職務(wù)主要有:浙江省自然科學(xué)基金委員會(huì)副主任、浙江省學(xué)位委員會(huì)副主任、浙江省人民政府經(jīng)濟(jì)建設(shè)咨詢委員會(huì)委員、中國(guó)電子學(xué)會(huì)電子材料學(xué)會(huì)專(zhuān)業(yè)學(xué)會(huì)副主任、浙江省電子學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、國(guó)務(wù)院第二屆、第三屆學(xué)位委員會(huì)非金屬材料學(xué)科評(píng)議組成員、國(guó)家科委發(fā)明委員會(huì)特邀評(píng)審員、國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)半導(dǎo)體學(xué)科評(píng)審組成員、中國(guó)發(fā)明協(xié)會(huì)理事等;現(xiàn)任主要職務(wù):九三學(xué)社中央常委、浙江省主任委員,浙江省政協(xié)副主席;

    闕端麟 - 研究成果

    中科院院士闕端麟在國(guó)內(nèi)首先用硅烷分解法制成高純硅。并在國(guó)內(nèi)推廣具有特色的生產(chǎn)高純硅烷及多晶硅成套技術(shù),成為我國(guó)近幾十年來(lái)生產(chǎn)高純硅烷的主要方法。該成果于1980年獲國(guó)家發(fā)明三等獎(jiǎng)。

    1954年,他開(kāi)始從事溫差電材料的研究,跨入了半導(dǎo)體材料這一新興學(xué)科,試制成我國(guó)第一臺(tái)溫差發(fā)動(dòng)機(jī)。1959年轉(zhuǎn)向硅材料的研究,1964年在國(guó)內(nèi)首先用硅烷法制成純硅,隨后在浙江大學(xué)組成了擴(kuò)大的研究課題組,于1970年完成了高純硅烷及多晶硅生產(chǎn)的成套技術(shù)研究,工藝簡(jiǎn)單,流程短,易于保證高純度,30年來(lái)一直是我國(guó)生產(chǎn)高純硅烷的主要方法,該成果獲國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)。他首次為國(guó)內(nèi)提供了電子工業(yè)急需的純硅烷氣體;負(fù)責(zé)并領(lǐng)導(dǎo)了極高阻硅單晶的研制,并成功地研制出了探測(cè)器級(jí)硅單晶、P型電阻率高達(dá)100KCM的硅單晶,達(dá)到國(guó)際水平。在硅單晶電學(xué)法測(cè)試方面,他進(jìn)行了新的測(cè)試方法和理論研究,提出了雙頻動(dòng)態(tài)電導(dǎo)法和間歇加熱法測(cè)試硅材料導(dǎo)電型號(hào);發(fā)展了紅外光電導(dǎo)衰減壽命測(cè)試技術(shù)和理論,創(chuàng)立并首先發(fā)表了高頻單色光電導(dǎo)法壽命測(cè)試的表面修正公式。

    闕端麟 - 人物榮譽(yù)

    他主持研制生產(chǎn)儀器的技術(shù)指標(biāo)大大超過(guò)同類(lèi)進(jìn)口儀器水平,使硅單晶工業(yè)產(chǎn)品壽命測(cè)試儀全部國(guó)產(chǎn)化,該成果獲國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng)三等獎(jiǎng)。20世紀(jì)80年代是闕端麟在科研上豐收的時(shí)期,除高純硅和測(cè)試技術(shù)、測(cè)試儀器外,還在硅晶體生長(zhǎng)技術(shù)方面取得了實(shí)質(zhì)性進(jìn)展,“氮保護(hù)氣氛直拉硅單晶”的研究成功,打破了國(guó)外同行專(zhuān)家“不可能采用氮?dú)庾鞅Wo(hù)氣氛拉制硅單晶”的結(jié)論,取得了6項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利,其經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益十分顯著!皽p壓充氮直拉硅單晶技術(shù)”被《科技日?qǐng)?bào)》評(píng)選為我國(guó)1987年10項(xiàng)重大科技成果之一,1988年該成果又在布魯塞爾舉行的第37屆尤里卡世界發(fā)明博覽會(huì)上獲金牌獎(jiǎng);1989年獲國(guó)家發(fā)明獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)。

    八十年代他研究發(fā)展了單色紅外光電導(dǎo)衰減硅少子壽命測(cè)試儀并在各大學(xué)及工廠推廣應(yīng)用。該成果于1988年獲國(guó)家發(fā)明三等獎(jiǎng)。他首創(chuàng)減壓充氮直拉硅單晶技術(shù),取得中國(guó)發(fā)明專(zhuān)利7項(xiàng),該成果于1989年獲國(guó)家發(fā)明二等獎(jiǎng)。近十年來(lái)他領(lǐng)導(dǎo)的研究小組在摻氮直拉硅單晶的研究方面又取得了重要進(jìn)展,發(fā)表的重要論文50余篇。1991年當(dāng)選為中國(guó)科學(xué)院院士。為我國(guó)硅材料的發(fā)展作出了重要貢獻(xiàn)。

    闕端麟

    1956年,他被評(píng)為浙江大學(xué)先進(jìn)工作者,1983年被評(píng)為浙江省五講四美為人師表優(yōu)秀教師,1986年被評(píng)為國(guó)家級(jí)有突出貢獻(xiàn)的中青年專(zhuān)家,1988年獲浙江省勞動(dòng)模范稱號(hào),1990年被評(píng)為全國(guó)高等學(xué)校先進(jìn)科技工作者,同年獲全國(guó)“五一”勞動(dòng)獎(jiǎng)?wù)隆K谡蛯W(xué)術(shù)團(tuán)體中擔(dān)任的專(zhuān)業(yè)職務(wù)主要有:浙江省自然科學(xué)基金委員會(huì)副主任、浙江省學(xué)位委員會(huì)副主任、浙江省人民政府經(jīng)濟(jì)建設(shè)咨詢委員會(huì)委員、中國(guó)電子學(xué)會(huì)電子材料學(xué)會(huì)專(zhuān)業(yè)學(xué)會(huì)副主任、浙江省電子學(xué)會(huì)副理事長(zhǎng)、國(guó)務(wù)院第二屆、第三屆學(xué)位委員會(huì)非金屬材料學(xué)科評(píng)議組成員、國(guó)家科委發(fā)明委員會(huì)特邀評(píng)審員、國(guó)家自然科學(xué)基金委員會(huì)半導(dǎo)體學(xué)科評(píng)審組成員、中國(guó)發(fā)明協(xié)會(huì)理事等,F(xiàn)任九三學(xué)社中央常委、浙江省主任委員,浙江省政協(xié)副主席。

    闕端麟 - 工作特色

    他在研究工作中有兩個(gè)特色:一是在選題上有自己獨(dú)到的見(jiàn)解;二是他一貫重視科研與生產(chǎn)的緊密結(jié)合,將科研成果轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)力。

    確定研究方向、選擇研究課題在科研工作中具有極其重要的作用,它關(guān)系到能否取得高水平成果、能否有發(fā)展前途。闕端麟在確定研究方向和選題時(shí)所遵從原則是:既要尋找有發(fā)展前途的高水平課題,又要照顧到本單位乃至我國(guó)所具備的實(shí)際條件,量力而行。30多年前,他經(jīng)過(guò)深思熟慮,由研究溫差電材料,轉(zhuǎn)而選擇了量大面廣、性能優(yōu)良的硅材料作為研究方向,邁出了關(guān)鍵的一步;30多年后的今天,在浙大建成了以高純硅材料為特色的國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室。他認(rèn)為,科學(xué)研究不能“人云亦云”、“湊熱鬧”,搞低水平的重復(fù)。在了解和研究前人及同時(shí)代人工作的基礎(chǔ)上,必須要有自己的思想和獨(dú)特的技術(shù)思路,才會(huì)有所建樹(shù)。這些思想促使他選題方向正確,且富有創(chuàng)造性,往往取得顯著成果。

    在建設(shè)浙大半導(dǎo)體材料學(xué)科過(guò)程中,闕端麟帶領(lǐng)一班人四處奔波,尋求支持,苦心經(jīng)營(yíng),經(jīng)過(guò)了由小到大,由“土”變“洋”的漫長(zhǎng)道路。闕端麟是國(guó)內(nèi)較早開(kāi)始半導(dǎo)體材料研究的學(xué)者之一。闕端麟作為高純硅國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室學(xué)術(shù)帶頭人,浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料專(zhuān)業(yè)創(chuàng)始人,他的業(yè)績(jī)不僅是上述教學(xué)研究成果和發(fā)明,還具有可貴的創(chuàng)業(yè)精神。他苦心經(jīng)營(yíng),把幾個(gè)人的科研小組發(fā)展成集教學(xué)、科研、生產(chǎn)于一體的近百人的集體,建立了一支老中青相結(jié)合的學(xué)術(shù)梯隊(duì),創(chuàng)立了擁有數(shù)億元固定資產(chǎn)的基地,為學(xué)科的發(fā)展奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。浙江大學(xué)半導(dǎo)體材料學(xué)科是國(guó)務(wù)院學(xué)位委員會(huì)批準(zhǔn)的第一批碩士學(xué)位授予點(diǎn)和第一個(gè)半導(dǎo)體材料工學(xué)博士學(xué)位授予點(diǎn),1988年又被評(píng)定、批準(zhǔn)為國(guó)家教委重點(diǎn)學(xué)科。1985年國(guó)家計(jì)委批準(zhǔn)在浙江大學(xué)建設(shè)高純硅國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,1987年建成并對(duì)外開(kāi)放。它具備了較好的從事半導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體器件教學(xué)、研究的條件,已成為培養(yǎng)高質(zhì)量人才、出高水平成果的基地。

    闕端麟 - 人物評(píng)價(jià)

    闕端麟教授學(xué)識(shí)淵博,誨人不倦,平易近人,師德高尚,他愛(ài)黨愛(ài)國(guó),刻苦攻關(guān),碩果累累。闕端麟忠誠(chéng)人民的教育事業(yè),40多年來(lái)在教育戰(zhàn)線上辛勤耕耘,培養(yǎng)了一大批社會(huì)主義事業(yè)接班人。浙江大學(xué)是我國(guó)最早開(kāi)辦半導(dǎo)體材料與器件專(zhuān)業(yè)的學(xué)校之一,闕端麟是開(kāi)辦該專(zhuān)業(yè)的最主要骨干教師之一,為該專(zhuān)業(yè)的建設(shè)和發(fā)展做出過(guò)重要貢獻(xiàn)。他先后為本科生、研究生開(kāi)設(shè)了“電工材料”、“半導(dǎo)體材料”、“半導(dǎo)體專(zhuān)論”、“真空技術(shù)”、“半導(dǎo)體物理”、“近代物理基礎(chǔ)”等10多門(mén)課程,其中多門(mén)課程都是在沒(méi)有教科書(shū),甚至沒(méi)有系統(tǒng)參考書(shū)的情況下,由他首先收集資料開(kāi)出的。闕端麟由于基礎(chǔ)扎實(shí)、知識(shí)面寬、根底深厚,講課深入淺出,理論聯(lián)系實(shí)際,語(yǔ)言精煉而生動(dòng),得到學(xué)生好評(píng)。他注重理論聯(lián)系實(shí)際,有很強(qiáng)的實(shí)驗(yàn)技能,在教學(xué)過(guò)程中一貫重視培養(yǎng)學(xué)生實(shí)踐和實(shí)驗(yàn)?zāi)芰ΑT谒闹笇?dǎo)下,研究生都能較早深入實(shí)驗(yàn)室和工廠參加課題討論、實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)實(shí)踐,并從中選擇畢業(yè)論文課題,往往收到很好效果,大多數(shù)研究生的論文都有較高的學(xué)術(shù)水平和應(yīng)用價(jià)值。在闕端麟的身教言傳訓(xùn)練下,他的學(xué)生都有較強(qiáng)的科研實(shí)驗(yàn)?zāi)芰。許多學(xué)生已成長(zhǎng)為各單位業(yè)務(wù)骨干和領(lǐng)導(dǎo)。

    闕端麟不僅一直非常重視科研與生產(chǎn)相結(jié)合,而且積極主張努力發(fā)展校辦產(chǎn)業(yè),他的多項(xiàng)成果一經(jīng)鑒定就直接轉(zhuǎn)入浙江大學(xué)半導(dǎo)體廠生產(chǎn),工廠所創(chuàng)造的經(jīng)濟(jì)效益又用來(lái)支持學(xué)科和實(shí)驗(yàn)室建設(shè),形成了生產(chǎn)與學(xué)科建設(shè)緊密結(jié)合的思路。在此思路的指導(dǎo)下,半導(dǎo)體廠發(fā)展很快,1995年國(guó)務(wù)院發(fā)展研究中心授予半導(dǎo)體廠“中華之最”榮譽(yù)稱號(hào)。闕端麟是我國(guó)自己培養(yǎng)的專(zhuān)家,他深信在中國(guó)的土地上能夠做出自己的貢獻(xiàn)。幾十年的攀登拼搏,換來(lái)了一項(xiàng)又一項(xiàng)成果、發(fā)明,為中國(guó)人爭(zhēng)了光。在科研道路上闖過(guò)了坎坎坷坷的闕端麟深深體會(huì)到,自力更生精神在科技工作中的體現(xiàn),不僅僅是艱苦奮斗,它更深刻的含義在于利用中國(guó)現(xiàn)有條件,去爭(zhēng)取高水平的成果。他對(duì)前人的經(jīng)驗(yàn)和結(jié)論并不盲從,而是獨(dú)立思考,批判地吸收,從而有所發(fā)現(xiàn)、有所創(chuàng)造、有所前進(jìn)。

    闕端麟 - 院士語(yǔ)錄

    闕院士通過(guò)大量生動(dòng)的例子闡明了近現(xiàn)代科學(xué)的迅猛發(fā)展對(duì)人類(lèi)社會(huì)的影響,并提出了研究生培養(yǎng)的重點(diǎn)是創(chuàng)新意識(shí)。他說(shuō),“創(chuàng)新是科技工作者的天職”對(duì)于創(chuàng)新的方法和關(guān)鍵,闕院士認(rèn)為,創(chuàng)新不一定是從無(wú)到有,而是站在巨人的肩膀上攀登,要求科技工作者繼承與創(chuàng)新并重,在掌握現(xiàn)有知識(shí)體系的基礎(chǔ)上,善于發(fā)現(xiàn),勤于思考,才能有所創(chuàng)新。

    在各種科學(xué)技術(shù)蓬勃發(fā)展的今天,創(chuàng)新也趨于多樣化。闕老指出,那些公認(rèn)的問(wèn)題、實(shí)驗(yàn)的新發(fā)現(xiàn)、學(xué)科的交叉移植及理論的新突破都是創(chuàng)新的焦點(diǎn)。并且,實(shí)驗(yàn)的思考和論文的綜述十分重要,只有理論與實(shí)踐緊密結(jié)合,并時(shí)時(shí)關(guān)注學(xué)科的發(fā)展,才會(huì)找到自己的創(chuàng)新之路。

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