人物經(jīng)歷
余金中1992和2001年作為訪問學者在美國硅谷和德國斯圖加特大學工作和講學。
余金中現(xiàn)任中國科學院半導體研究所學術委員、研究生院研究員,博士生導師。兼任浙江大學、山東大學、廈門大學、北京工業(yè)大學、華僑大學和河北大學兼職教授,《半導體光電子》、《飛通光電子技術》雜志編委。美國國際光子工程協(xié)會(SPIE)、中國光學學會會員和中國電子學會高級會員。
研究方向
余金中長期從事半導體光電子學研究,著重研究硅基光電子集成、硅基光波導器件和SiGe/Si異質結和器件的生長、制備和特性表征。
主要貢獻
主要學術業(yè)績:
一、首先在國內實現(xiàn)了短波長激光器的長壽命工作,促進了我國光通信的起步發(fā)展。主持長波長激光器實用化研發(fā),成功地轉化為高技術產(chǎn)品。
二、開展低能量無損傷干法刻蝕研究,創(chuàng)新采用低能量大離子束流,實現(xiàn)了無損傷高速率刻蝕,為低閾值長壽命半導體激光器的研制奠定了重要基礎。
三、1996年致力于硅基光電子學研究,合作設計加工出高水平的UHV/CVD系統(tǒng),指導研究生外延出高質量SiGe/Si量子結構和器件,相關結果已被國外多次進行報道,并多次在國際會議上作邀請報告。
四、在國內率先主持開展SOI光波導研究,成功做出MMI耦合器和MZI熱光型和電光型光開關,響應速度快,為國際先進水平。
完成/在研主要項目
國家基金委重大項目“光子集成基礎研究" 課題"IV族基能帶工程材料和器件應用研究”(1998-2002)。
國家基金委重大項目"WDM全光網(wǎng)基礎研究",課題"WDM全光網(wǎng)關鍵器件及基礎材料研究"(1999-2003)。
科技部973項目"支撐高速、大容量信息網(wǎng)絡系統(tǒng)的光子集成基礎研究" 課題"OXC關鍵集成器件及增益非線性與噪聲動力學"(2001-2005)。
科技部863項目"通信用光電子材料、器件與集成技術" 課題"硅基高速波導光開關及其集成技術" (2002-2005)。
代表性論著
余金中,《半導體光電子技術》,2003,北京:化工出版社。
YU Jinzhong, Wei Hongzhen, Yan Qingfeng, Xia Jinsong, Zhang Xiaofeng, “Integrated MMIoptical couplers and optical switches in Silicon-on-insulator techlonogy”, J. of The Graduatte School of The Chinese Acadamy of Sciences, 2003,20(1):1-4.
余金中,嚴清峰,夏金松,王小龍,王啟明,“SOI光電子集成”,功能材料和器件學報,2003,9(1):1-7.
Jinzhong Yu, Changjun Huang, Buwen Cheng, Yuhua Zuo, Liping Luo and Qiming Wang,Type-II SiGe/Si MQWs (multi-quantum Wells) and Self-Organized Ge/Si Islands Grown by UHV/CVD System,International J. Modern Phys. ,2002,16(28&29): 4228-4233。
Erich Kasper 主編,余金中譯,王杏華,王莉,夏永偉校,《硅鍺的性質》,2002年9月第1版,北京:國防工業(yè)出版社。
Yu Jinzhong, Yu Zhou , Cheng Buwen , Li Daizhong , Lei Zhenlin , Wang Qiming,GeSi/Si heterostructures grown by a home-made UHV/CVD,Science Foundation In CHINA,1999,7(7): 40-43。
J. Z. Yu, N. Masui, Y. Yuba, T. Hara, M. Hamagaki, Y. Aoyagi, K. Gamo, and S. Namba,Induced defects in GaAs etched by low energy ions in electron beam excited plasma (EBEP) system,Jpn. Appl. Phys.,1989,28(11): 2391-2395。
J. Z. Yu, T. Hara, M. Hamagaki, T. Yoshinaga, Y. Aoyagi and S. Namba,High-rate ion etching of GaAs and Si at low ion energy by using an electron beam excited plasma system,J. Vac. Sci. & Technol.,1988,B6(6): 1626-1631。
J. Z. Yu, T. Hara, M. Hamagaki, Y. Aoyagi and S. Namba,Damageless ion etching by high current low energy ion beam,Application of Ion Beams in Materials Science,1987: 271-276。
J. Z. Yu, Y. Aoyagi, S. Iwai, K. Toyada and S. Namba,Anodic oxidation of AlGaAs,J. Appl. Phys.,1985,56(6):1895-1896。